Полный каталог оборудования для производства полупроводниковых пластин

ПОЛНОЕ ПОРТФОЛИО ОБОРУДОВАНИЯ

Рост кристаллов · Резка · Шлифовка · Полировка — Четыре этапа процесса, один поставщик

Vimfun производит полную цепочку оборудования для производства полупроводниковых пластин — от роста монокристаллических слитков до полированных пластин с зеркальной поверхностью. Наш каталог включает печи для роста кристаллов (методы CCz / Kyropoulos), многопроволочные алмазные пилы для высокопроизводительной резки пластин, двусторонние шлифовальные и полировальные станки для плоскостности менее микрона, а также полный ассортимент расходных материалов (алмазные проволочные петли).

12-дюймовый установщик монокристаллов кремния

Технология: Непрерывный CZ (CCz) / H-MCZ
Максимальный диаметр: 300 мм / 12 дюймов
Идентификатор камеры: Φ1400 мм
Контроль диаметра: ±0.05 мм

2-станковая шлифовальная машина

2 станции
Длина заготовки: 10–70 мм
Ширина заготовки: 10–90 мм
15 шт./мин

4-осевой станок для резки алмазным проводом

Максимальная длина заготовки (мм): 200
Максимальная ширина заготовки (мм): 200
Максимальная высота заготовки (мм): 200
Режущий инструмент: Бесконечная проволока

Станок для шлифовки дуговых магнитов

4 станции
Длина заготовки: 10–70 мм
Ширина заготовки: 10–90 мм
15 шт./мин

Однопроволочная пила с ЧПУ

Максимальная длина заготовки (мм): 200
Максимальная ширина заготовки (мм): 200
Максимальная высота заготовки (мм): 200
Режущий инструмент: Бесконечная проволока

Максимальная длина заготовки (мм): 200
Максимальная ширина заготовки (мм): 200
Максимальная высота заготовки (мм): 200
Режущий инструмент: Бесконечная проволока

Алмазно-проволочная пила

Максимальная длина заготовки (мм): 630*160*150
2 рабочие станции
Толщина нарезки (мм): 1,5-20 мм
Более высокая скорость резки

Двусторонняя полировка

Макс. диаметр заготовки (мм): Φ480
Макс. усилие обработки: 9000 Н
Плоскостность плиты: ≤0,02 мм
Общая мощность: 36 кВт

Бесконечная проволока с полным покрытием

Диаметр проволоки (мм): 0.3 - 3.5
Длина провода (мм): 700 - 10000

Шлифовальный станок

Макс. диаметр заготовки (мм): Φ390
Подшипник: P5 перекрестный роликовый
Плоскостность плиты: ≤0,015 мм
Точность толщины: ±2 мкм (опц.)

Многопильный станок

Максимальная длина заготовки (мм): 1000*200*150
2 загрузочные станции
Толщина нарезки (мм): 1,5-25 мм
Огромная производительность

Полировальная машина

Макс. диаметр заготовки (мм): Φ210
Держатели: 6 шт.
Плоскостность плиты: ≤0,015 мм
Контроль давления: ±10 Н