Карбид кремния · применение материала

Нарезка слитков SiC

Подберите метод резки к вашему бланку из карбида кремния, требованиям к срезу и припуску на обработку. Начните с осциллирующей многопроволочной резки, затем сравните инвертированную подачу или однопроволочную резку, где этого требует геометрия.

МногопроволочнаяПараллельные срезыКачающаяся резкаИзменение условий контактаОднопроволочнаяИндивидуальные резы и профили
Цилиндрические слитки и пластина на металлическом верстаке
Слитки и пластины — обзор материала.

Сначала определите выходные данные

Какое место занимает нарезка в процессе изготовления подложки?

Слиток карбида кремния — это исходный материал, а не готовая подложка. Операция резки разделяет материал на заготовки или пластины, которые все еще нуждаются в указанной последующей обработке. При подготовке запроса на оборудование раздельно указывайте исходное состояние, припуск на резку и окончательные критерии приемки.

01 · ПОДГОТОВКА

Определите заготовку

Укажите марку материала, размеры, требования к ориентации и поверхности, доступные для зажима. Определите любую необходимую резку или подготовку геометрии перед параллельной резкой.

02 · РЕЗКА

Выберите маршрут резки

Используйте многопроволочную сетку для параллельных пластин. Оцените однопроволочный маршрут, когда индивидуальные резы или заданный профиль являются основным требованием.

03 · ОТДЕЛКА И КОНТРОЛЬ

Квалифицируйте результат

Предусмотрите необходимый процесс шлифовки, притирки или полировки. Согласуйте метод контроля перед тем, как решить, соответствует ли вырезанный образец требованиям.

Резка пластин из карбида кремния на стадии слитка отличается от разделения обработанной пластины устройства на чипы. Эта страница охватывает подготовку заготовок и оборудование для резки.

Основная конфигурация · SOMIS-400

Как при нарезке слитков SiC используется качающийся рабочий стол?

SOMIS-400 сочетает в себе возвратно-поступательную многопроволочную систему с небольшим углом качания зажатой заготовки. Движение рабочего стола изменяет мгновенное условие контакта между материалом и проволочной сеткой. Документация модели описывает это как способ уменьшения площади контакта и распределения нагрузки при резке.

Качание заготовки и реверсирование проволоки — это отдельные движения. Функция качания может быть остановлена, когда процесс требует обычной подачи. Подача вверх или вниз — это заказанная конфигурация для подтверждения, а не предполагаемая автоматическая функция переключения.

Измерьте выгоду на вашем материале

Не выбирайте проволочную пилу для SiC по общим показателям скорости или выхода. Сравните время резки, принятые пластины, расход проволоки, состояние кромок и остаточный припуск на обработку в зарегистрированных условиях испытаний.

Здесь нет универсального процента эффективности или гарантированной точности готовой пластины. Марка, геометрия заготовки, оснастка и настройки резки должны оцениваться совместно.

Иллюстрация оборудования SOMIS-400 с кожухом и панелью управления оператора
Иллюстрация оборудования SOMIS-400.
Читать руководство по осциллирующей резке →

Три маршрута · разные задачи

Какая конфигурация подходит для вашей задачи резки?

ОСНОВНОЙ ВАРИАНТ

SOMIS-400

Осциллирующая многопроволочная резка

Начните здесь при оценке качающейся резки для твердых, хрупких заготовок из SiC. Трехшпиндельная одностанционная установка добавляет качание рабочего стола к процессу с проволочной сеткой.

Подтвердите заказанное направление подачи, зажим заготовки и целевые требования к пластинам в ходе пробной резки.

Просмотр SOMIS-400
ИНВЕРТИРОВАННАЯ ПОДАЧА

СОМИ-430

Оценка тонкой параллельной резки

Сравните эту двухшпиндельную инвертированную многопроволочную модель, когда заготовка и диапазон целевых пластин соответствуют ее заявленной мощности. Ее область применения материалов включает карбид кремния.

Выбирайте ее на основе схемы подачи и результатов испытаний; одна только инвертированная подача не обеспечивает улучшения выхода.

Просмотр SOMI-430
ИНДИВИДУАЛЬНЫЕ РЕЗЫ

СВО-40

Однопроволочные пластины и профили

Оцените эту вертикальную модель с катушечной проволокой для индивидуальных резов или требований к ЧПУ-профилированию. Она не производит стопку параллельных пластин за один проход многопроволочной резки.

Отправьте чертеж для проверки оснастки и доступа к резу. Необходимо подтвердить детали профиля, минимальную толщину пластины и пределы элементов.

Просмотр SVO-40

Проверьте заготовку на соответствие заявленной мощности станка

МодельУказанный диапазон заготовкиУказанный диапазон резкиКонфигурация для рассмотрения
SOMIS-400400 × 160 × 160 мм0,3–15 ммТри шпинделя, одна станция, качание рабочего стола; направление подачи по конфигурации
СОМИ-430430 × 160 × 150 мм0,3–3 ммДвухшпиндельная инвертированная многопроволочная резка
СВО-40400 × 400 × 300 ммПодтвердите для чертежа и материалаВертикальная однопроволочная резка и ЧПУ-профилирование
Это значения спецификаций модели, а не проверенные рецепты производства SiC. Прямоугольная рабочая зона не является рейтингом диаметра пластины. Учитывайте оснастку, ориентацию и зазор для движения при рассмотрении круглого слитка или неправильной заготовки.

Указанный диапазон срезов также отделен от конечной толщины после удаления материала. Определите требуемый припуск на обработку и допустимое отклонение перед выбором конфигурации резки. Более широкие конфигурации перечислены в обзор многопроволочной машины.

Квалификация перед производством

Что должно установить испытание резки?

Проверка размеров и поверхности

  • Согласованные измерения толщины по каждому отобранному срезу.
  • Критерии приемки по сколам кромок и состоянию поверхности.
  • Требования к ориентации и опорной поверхности.
  • Припуск на обработку, необходимый для последующего процесса.

Производственные и стоимостные данные

  • Время резки отдельно от настройки, загрузки и инспекции.
  • Принятый результат с указанием причин отклонения.
  • Потребление проволоки и соответствующие события замены.
  • Расположение приспособления, настройки подачи и условия охлаждения.
Ряды тонких пластин, поддерживаемых в держателе
Срезы пластин в держателе. Требуется проверка толщины и состояния кромок.

Для резки карбида кремния быстрая резка полезна только в том случае, если полученный материал соответствует согласованным требованиям последующей обработки. Одного диаметра проволоки недостаточно для определения фактических потерь на резку, а заявленная максимальная скорость проволоки не определяет подходящий рецепт резки. Используйте измеренные результаты для сравнения маршрутов.

Составьте свой контрольный список приемки с руководство по инспекции прецизионной резки. Коммунальные услуги, установка и окончательная поставленная конфигурация должны быть подтверждены с коммерческим предложением.

Вопросы для решения перед выбором машины

Производит ли SOMIS-400 готовые подложки из карбида кремния?

Оборудование выполняет резку. Требования к готовой подложке также зависят от последующей обработки и инспекции. Укажите требуемое состояние выходного материала и припуск на обработку при запросе испытания.

Всегда ли поперечная резка лучше инвертированной резки?

Они описывают различные аспекты процесса: поперечная резка описывает движение рабочего стола, а инвертированная резка описывает схему подачи. Необходимо подтвердить конфигурацию подачи SOMIS-400. Сравнивайте полные конфигурации и измеренные результаты образцов, а не рассматривайте два термина как взаимоисключающие категории производительности.

Могу ли я определить диаметр пластины по названию модели?

Нет. Номер модели не является рейтингом диаметра пластины из карбида кремния. Используйте указанный диапазон заготовки и предоставьте фактическую геометрию, приспособление и ориентацию для рассмотрения.

Когда мне следует рассмотреть SVO-40 вместо многопроволочной машины?

Рассмотрите однопроволочный маршрут, когда основным требованием является индивидуальная резка или профиль с ЧПУ. Для партии параллельных срезов начните с многопроволочных вариантов. Окончательный выбор зависит от чертежа, материала и критериев приемки испытаний.

Бесплатная резка образцов

Отправьте ваш слиток карбида кремния и требования к целевым срезам

Включите марку материала, входящие размеры, чертеж или ссылку на ориентацию, целевую толщину среза, припуск на обработку и критерии инспекции. Укажите, нужны ли вам параллельные срезы, индивидуальные разрезы или профиль.

Крупный план роликов многопроволочной пилы и параллельной проволочной сетки
Детали ролика и проволочной сетки. Изображение предоставлено для обсуждения испытания.

Vimfun может рассмотреть предлагаемый маршрут SOMIS-400, SOMI-430 или SVO-40 и обсудить репрезентативное испытание. Подтвердите схему и объем образца с командой.

Запросить бесплатный образец резки

Сертифицировано CE · 12-месячная гарантия · 12-часовой ответ · Бесплатная резка образцов

Прокрутить вверх
Свяжитесь с командой Vimfun
Вам нужно предложение, поддержка или обсуждение партнерства? Давайте соединимся.