SOMIS-400
振動マルチワイヤースライシング
硬くて脆いSiCブランクのスイング切断を評価する際にここから始めてください。3スピンドル、シングルステーションの配置は、ワークテーブルのロッキングをワイヤーウェブプロセスに追加します。.
サンプル試験で、注文された送り方向、ワーク保持、およびターゲットスライスの要件を確認してください。.
SOMIS-400を見るシリコンカーバイド・材料応用
SiCインゴットスライシング
シリコンカーバイドブランク、スライス要件、仕上げしろに合わせて切断方法を選択してください。まず振動マルチワイヤースライシングから始め、次にジオメトリが必要とする場合は、逆送りまたはシングルワイヤー切断を比較してください。.
マルチワイヤー平行スライススイング切断接触条件の変更シングルワイヤー個別のカットとプロファイル
まず出力を定義する
基板プロセスにおけるスライシングの位置は？
シリコンカーバイドインゴットは出発材料であり、完成した基板ではありません。切断作業により、指定された下流処理が必要なブランクまたはスライスに材料が分離されます。装置の問い合わせを準備する際には、入荷条件、切断しろ、最終受け入れ基準を個別に考慮してください。.
01 · 準備
识别毛坯
材料グレード、寸法、配向要件、クランプ可能な表面を提示してください。平行スライシングの前に必要なカットオフまたはジオメトリ準備を特定してください。.
02 · スライス
切断ルートを選択する
平行スライスにはマルチワイヤーウェブを使用します。個別のカットまたは定義されたプロファイルが主な要件である場合は、シングルワイヤー経路を評価してください。.
03 · 仕上げと検査
結果を評価する
必要な研削、ラップ、または研磨プロセスを考慮してください。カットサンプルが必要条件を満たすかどうかを決定する前に、検査方法に合意してください。.
インゴット段階でのシリコンカーバイドウェーハ切断は、処理済みデバイスウェーハをチップにダイシングすることとは異なります。このページでは、ブランクの準備とスライシング装置について説明します。.
プライマリ構成 · SOMIS-400
SiCインゴットスライシングでは、どのようにしてロッキングワークテーブルを使用しますか？
SOMIS-400は、往復式マルチワイヤーシステムと、クランプされたワークピースの小角度スイングを組み合わせています。ワークテーブルの動きにより、材料とワイヤーウェブ間の瞬時の接触条件が変化します。モデルのドキュメントでは、これを接触面積を減らし、切断負荷を分散する方法として説明しています。.
ワークピースのロッキングとワイヤーの反転は別々の動きです。プロセスで従来の送りが必要な場合、スイング機能は停止できます。上向きまたは下向きの送りは、自動切り替え機能と想定するのではなく、確認するための順序付けられた構成です。.
材料でのメリットを測定する
一般的な速度や収率の主張からSiCワイヤーソーを選択しないでください。記録された試験条件下での切断時間、受け入れられたスライス、ワイヤー使用量、エッジの状態、および残りの仕上げしろを比較してください。.
ここには普遍的な効率パーセンテージや完成ウェーハの許容誤差は約束されていません。グレード、ブランクのジオメトリ、治具、切断設定はすべて一緒に評価する必要があります。.
Three routes · different jobs
どの構成がお客様の切断タスクに適していますか？
SOMI-430
平行薄スライス評価
ブランクとターゲットスライスの範囲がそのリストされた容量に適合する場合、この2スピンドル逆マルチワイヤーモデルを比較してください。その材料範囲にはシリコンカーバイドが含まれます。.
送り配置と試験結果に基づいて選択してください。逆送りだけでは収率の向上は確立されません。.
SOMI-430を見るSVO-40
シングルワイヤーのスライスとプロファイル
個別のカットまたはCNCプロファイル要件については、この垂直スプールワイヤーモデルを評価してください。一度のマルチワイヤーパスで平行スライスのスタックを生成しません。.
治具とカットアクセスのレビューのために図面を送付してください。プロファイルのディテール、最小スライス厚さ、およびフィーチャー制限は確認が必要です。.
SVO-40を見るブランクをリストされた機械容量と比較する
| モデル | 記載されているワークピースエンベロープ | 記載のスライス範囲 | レビューする構成 |
|---|---|---|---|
| SOMIS-400 | 400 × 160 × 160 mm | 3–15 mm | Three spindles, single station, worktable swing; feed direction by configuration |
| SOMI-430 | 430 × 160 × 150 mm | 3–3 mm | Two-spindle inverted multi-wire cutting |
| SVO-40 | 400 x 400 x 300 mm | 図面と材料を確認する | 垂直シングルワイヤー切断とCNCプロファイル |
これらはモデル仕様値であり、検証済みのSiC生産レシピではありません。長方形のワークピースエンベロープは、ウェーハ直径の定格ではありません。丸いインゴットまたは不規則なブランクをレビューする際には、治具、配向、およびモーションクリアランスを考慮してください。.
材料除去後の仕上がり厚とは別に、記載されているスライス範囲も考慮されます。切断設定を選択する前に、必要な仕上げストックと許容変動を定義してください。より広範な構成については、 マルチワイヤマシン概要.
生産前の適格性確認
切断トライアルで確立すべきことは何ですか？
寸法および表面検査
- サンプルスライスごとの合意された厚さ測定。.
- エッジの欠けおよび表面状態の受け入れ基準。.
- 向きと基準面の要件。.
- 下流工程に必要な仕上げしろ。.
生産およびコストの入力
- セットアップ、ロード、検査から分離された切断時間。.
- 受け入れられた出力、拒否理由を記録。.
- ワイヤ消費量および関連する交換イベント。.
- 治具配置、送り設定、およびクーラント条件。.
炭化ケイ素の切断の場合、結果として得られる材料が合意された下流要件を満たす場合にのみ、高速切断が役立ちます。ワイヤ径だけでは実際のカーフ損失を確立するには不十分であり、宣伝されている最大ワイヤ速度は適切な切断レシピを定義しません。測定結果を使用してルートを比較してください。.
受け入れチェックリストを作成してください。 精密スライシング検査ガイド. 。ユーティリティ、設置、および最終的な供給構成は、見積もりとともに確認する必要があります。.
機械を選択する前に解決すべき質問
SOMIS-400は完成したSiC基板を製造しますか？
装置は切断を行います。完成した基板の要件は、後続の処理と検査にも依存します。トライアルを依頼する際は、必要な出力条件と仕上げしろを指定してください。.
スイング切断は常に逆切断よりも優れていますか？
これらはプロセスの異なる側面を説明しています。スイングはワークテーブルの動きを説明し、逆切断は送り配置を説明します。SOMIS-400の送り構成を確認する必要があります。2つの用語を排他的なパフォーマンスカテゴリとして扱うのではなく、完全なセットアップと測定されたサンプル結果を比較してください。.
モデル名からウェファ径を推測できますか？
いいえ。モデル番号はSiCウェファ径の定格ではありません。記載されているワークピースエンベロープを使用し、実際のジオメトリ、治具、およびオリエンテーションをレビューのために提出してください。.
いつマルチワイヤマシンではなくSVO-40を検討すべきですか？
個々の切断またはCNCプロファイルが主な要件である場合は、シングルワイヤルートを検討してください。平行スライスのバッチの場合は、マルチワイヤオプションから始めてください。最終的な選択は、図面、材料、およびトライアル受け入れ基準によって異なります。.
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SiCブランクとターゲットスライス要件を送信してください
材料グレード、入荷寸法、図面またはオリエンテーション参照、ターゲットスライス厚、仕上げしろ、および検査基準を含めてください。平行スライス、個々の切断、またはプロファイルが必要かどうかを指定してください。.
Vimfunは、提案されたSOMIS-400、SOMI-430、またはSVO-40ルートをレビューし、代表的なトライアルについて話し合うことができます。サンプル配置と範囲をチームと確認してください。.
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