실리콘 카바이드 · 재료 응용

SiC 잉곳 슬라이싱

실리콘 카바이드 블랭크, 슬라이스 요구 사항 및 마무리 여유분에 맞춰 절단 방법을 선택하십시오. 진동 멀티 와이어 슬라이싱으로 시작한 다음, 형상이 요구하는 경우 역방향 공급 또는 단일 와이어 절단을 비교하십시오.

멀티 와이어평행 슬라이스스윙 절단접촉 조건 변경단일 와이어개별 절단 및 프로파일
금속 작업대 위의 원통형 잉곳 및 웨이퍼
잉곳 및 웨이퍼 — 재료 개요.

먼저 출력 정의

기판 공정에서 슬라이싱은 어디에 속합니까?

실리콘 카바이드 잉곳은 완제품 기판이 아닌 시작 재료입니다. 절단 작업은 아직 지정된 다운스트림 처리가 필요한 블랭크 또는 슬라이스로 재료를 분리합니다. 장비 문의를 준비할 때 입고 조건, 절단 여유분 및 최종 승인 기준을 별도로 유지하십시오.

01 · 준비

블랭크 식별

재료 등급, 치수, 배향 요구 사항 및 클램핑에 사용할 수 있는 표면을 제공하십시오. 평행 슬라이싱 전에 필요한 절단 또는 형상 준비를 식별하십시오.

02 · 슬라이스

절단 경로 선택

평행 슬라이스의 경우 멀티 와이어 웹을 사용하십시오. 개별 절단 또는 정의된 프로파일이 주요 요구 사항인 경우 단일 와이어 경로를 평가하십시오.

03 · 마무리 및 검사

결과 검증

필요한 연삭, 랩핑 또는 연마 공정을 고려하십시오. 절단 샘플이 요구 사항을 충족하는지 결정하기 전에 검사 방법을 합의하십시오.

잉곳 단계에서의 실리콘 카바이드 웨이퍼 절단은 처리된 장치 웨이퍼를 칩으로 다이싱하는 것과 다릅니다. 이 페이지는 블랭크 준비 및 슬라이싱 장비에 대해 설명합니다.

기본 구성 · SOMIS-400

SiC 잉곳 슬라이싱은 어떻게 로킹 작업대를 사용합니까?

SOMIS-400은 왕복식 멀티 와이어 시스템과 클램핑된 작업물의 작은 각도 스윙을 결합합니다. 작업대 이동은 재료와 와이어 웹 사이의 순간적인 접촉 조건을 변경합니다. 모델 설명서는 이를 접촉 면적을 줄이고 절단 하중을 분산하는 방법으로 설명합니다.

작업물 로킹 및 와이어 역회전은 별도의 움직임입니다. 공정에서 기존 공급이 필요한 경우 스윙 기능을 중지할 수 있습니다. 상향 또는 하향 공급은 자동 전환 기능으로 가정하는 것이 아니라 확인해야 하는 주문 구성입니다.

재료에 대한 이점 측정

일반적인 속도 또는 수율 주장에 따라 SiC 와이어 톱을 선택하지 마십시오. 기록된 시험 조건 하에서 절단 시간, 승인된 슬라이스, 와이어 사용량, 가장자리 상태 및 남은 마무리 재고를 비교하십시오.

여기서는 보편적인 효율성 백분율이나 완성된 웨이퍼 허용 오차를 약속하지 않습니다. 등급, 블랭크 형상, 고정 장치 및 절단 설정을 함께 평가해야 합니다.

인클로저 및 작업자 제어판이 있는 SOMIS-400 장비 일러스트레이션
SOMIS-400 장비 일러스트레이션.
진동 절단 가이드 읽기 →

세 가지 경로 · 다른 작업

어떤 구성이 귀하의 절단 작업에 적합합니까?

기본 옵션

SOMIS-400

진동 멀티 와이어 슬라이싱

단단하고 부서지기 쉬운 SiC 블랭크에 대한 스윙 절단 평가를 여기서 시작하십시오. 3축, 단일 스테이션 배열은 와이어 웹 공정에 작업대 로킹을 추가합니다.

샘플 시험에서 주문된 공급 방향, 작업물 고정 및 목표 슬라이스 요구 사항을 확인하십시오.

SOMIS-400 보기
역방향 공급

SOMI-430

평행 얇은 슬라이스 평가

블랭크와 목표 슬라이스 범위가 나열된 용량에 맞는 경우 이 2축 역방향 멀티 와이어 모델을 비교하십시오. 재료 범위에는 실리콘 카바이드가 포함됩니다.

공급 배열 및 시험 결과에 따라 선택하십시오. 역방향 공급만으로는 수율 개선이 이루어지지 않습니다.

SOMI-430 보기
개별 절단

SVO-40

단일 와이어 슬라이스 및 프로파일

개별 절단 또는 CNC 프로파일 요구 사항에 대해 이 수직, 스풀 와이어 모델을 평가하십시오. 한 번의 멀티 와이어 패스로 평행 슬라이스 스택을 생성하지 않습니다.

고정 장치 및 절단 접근 검토를 위해 도면을 보내십시오. 프로파일 세부 정보, 최소 슬라이스 두께 및 기능 제한 사항을 확인해야 합니다.

SVO-40 보기

나열된 기계 용량과 블랭크 비교

모델기재된 공작물 엔벨로프기재된 슬라이스 범위검토할 구성
SOMIS-400400 × 160 × 160 mm3–15 mm3축, 단일 스테이션, 작업대 스윙; 구성에 따른 공급 방향
SOMI-430430 × 160 × 150 mm3–3 mm2축 역방향 멀티 와이어 절단
SVO-40400 × 400 × 300 mm도면 및 재료 확인수직 단일 와이어 슬라이싱 및 CNC 프로파일
이들은 모델 사양 값이며 검증된 SiC 생산 레시피가 아닙니다. 직사각형 작업물 봉투는 웨이퍼 직경 등급이 아닙니다. 원형 잉곳 또는 불규칙한 블랭크를 검토할 때 고정 장치, 배향 및 모션 여유를 고려하십시오.

나열된 슬라이스 범위는 재료 제거 후 완성된 두께와도 별개입니다. 절단 설정을 선택하기 전에 필요한 마무리 재고와 허용 오차를 정의하십시오. 더 넓은 구성은 멀티 와이어 기계 개요.

생산 전 자격

절단 시험은 무엇을 확립해야 합니까?

치수 및 표면 검사

  • 샘플링된 각 슬라이스에 걸친 합의된 두께 측정값.
  • 가장자리 칩핑 및 표면 상태 수락 기준.
  • 방향 및 기준면 요구 사항.
  • 다운스트림 공정에 필요한 마무리 여유분.

생산 및 비용 입력

  • 설정, 로딩 및 검사에서 분리된 절단 시간.
  • 거부 사유가 기록된 승인된 출력.
  • 와이어 소비 및 관련 교체 이벤트.
  • 고정 장치 배열, 공급 설정 및 냉각수 조건.
홀더에 지지된 얇은 웨이퍼 슬라이스 행
홀더에 있는 웨이퍼 슬라이스. 두께와 가장자리 상태를 검사해야 합니다.

탄화규소 절단의 경우, 결과 재료가 합의된 다운스트림 요구 사항을 충족하는 경우에만 빠른 절단이 유용합니다. 와이어 직경만으로는 실제 커프 손실을 확립하기에 충분하지 않으며, 광고된 최대 와이어 속도는 적합한 절단 레시피를 정의하지 않습니다. 측정된 결과를 비교하여 경로를 비교하십시오.

수락 체크리스트를 다음으로 작성하십시오. 정밀 슬라이싱 검사 가이드. 유틸리티, 설치 및 최종 공급 구성은 견적과 함께 확인해야 합니다.

기계 선택 전에 해결해야 할 질문

SOMIS-400은 완성된 SiC 기판을 생산합니까?

장비는 절단을 수행합니다. 완성된 기판 요구 사항은 후속 처리 및 검사에도 의존합니다. 시험을 요청할 때 필요한 출력 조건과 마무리 여유분을 지정하십시오.

스윙 절단이 항상 반전 절단보다 낫습니까?

이들은 공정의 다른 측면을 설명합니다. 스윙은 작업대 움직임을 설명하고, 반전 절단은 공급 배열을 설명합니다. SOMIS-400 공급 구성은 확인해야 합니다. 두 용어를 배타적인 성능 범주로 취급하는 대신 전체 설정과 측정된 샘플 결과를 비교하십시오.

모델 이름에서 웨이퍼 직경을 추론할 수 있습니까?

아니요. 모델 번호는 SiC 웨이퍼 직경 등급이 아닙니다. 나열된 작업물 봉투를 사용하고 실제 형상, 고정 장치 및 방향을 검토를 위해 제출하십시오.

멀티 와이어 기계 대신 SVO-40을 언제 고려해야 합니까?

개별 절단 또는 CNC 프로파일이 주요 요구 사항인 경우 단일 와이어 경로를 고려하십시오. 병렬 슬라이스 배치에는 멀티 와이어 옵션으로 시작하십시오. 최종 선택은 도면, 재료 및 시험 수락 기준에 따라 달라집니다.

무료 샘플 절단

SiC 블랭크와 대상 슬라이스 요구 사항을 보내주십시오.

재료 등급, 입고 치수, 도면 또는 방향 참조, 대상 슬라이스 두께, 마무리 여유분 및 검사 기준을 포함하십시오. 병렬 슬라이스, 개별 절단 또는 프로파일이 필요한지 명시하십시오.

멀티 와이어 톱 롤러 및 병렬 절단 와이어 웹의 클로즈업
롤러 및 와이어 웹 세부 정보. 시험 논의를 위해 제공된 이미지.

Vimfun은 제안된 SOMIS-400, SOMI-430 또는 SVO-40 경로를 검토하고 대표적인 시험을 논의할 수 있습니다. 팀과 샘플 배열 및 범위를 확인하십시오.

무료 샘플 절단 요청

CE 인증 · 12개월 보증 · 12시간 응답 · 무료 샘플 절단

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