실리콘 · 슬라이싱 및 블랭크 준비

실리콘 잉곳 슬라이싱

실리콘 블랭크에서 절단 경로, 목표 슬라이스 두께 및 다운스트림 마감 요구 사항을 선택하십시오. 인버티드 멀티 와이어 슬라이싱과 듀얼 스테이션 스퀘어링 및 슬랩 커팅을 비교합니다.

얇은 조각인버티드 멀티 와이어 피드더 긴 블랭크모델별 용량정사각형 인고트듀얼 스테이션 평가
실리콘 잉곳 및 실리콘 잉곳 슬라이싱용 웨이퍼
실리콘 인고트 및 웨이퍼 예시. 재료 개요; 모델별 절단 결과가 아닙니다.

필요한 작업으로 시작

슬라이스가 완성된 웨이퍼가 되기 전에 무엇이 일어나야 합니까?

실리콘 인고트 슬라이싱 프로젝트는 들어오는 블랭크와 절단 후 필요한 조건을 모두 정의해야 합니다. 재료를 슬라이스로 분리하는 것이 기판 제조 공정을 완료하는 것은 아닙니다. 장비 선택 전반에 걸쳐 절단 여유 및 다운스트림 수락 요구 사항을 계속 확인하십시오.

01 · 준비

블랭크 모양 및 방향 지정

들어오는 형상, 절단 방향, 참조 표면 및 클램핑 배열을 식별합니다. 작업이 인고트를 정사각형으로 만들거나 슬랩을 생산하는 경우 얇은 슬라이스 생산과 별도로 명시하십시오.

02 · 슬라이스

평행 절단

왕복 와이어 웹이 여러 개의 평행 절단 경로를 생성합니다. 롤러 배열, 작업물 고정 및 공급 구성은 블랭크와 필요한 슬라이스 범위에 적합해야 합니다.

03 · 마감

최종 검사 준비

지정된 연삭, 래핑 또는 연마 작업을 허용합니다. 고객의 두께, 표면 및 방향 요구 사항에 대해 출력을 측정합니다.

여기서 웨이퍼 슬라이싱은 시작 재료를 슬라이스로 절단하는 것을 의미합니다. 처리된 장치 웨이퍼를 다이싱하는 데 사용되는 웨이퍼 쏘잉 머신은 다른 작업을 수행합니다. 문의 사항이 어떤 작업에 관한 것인지 알려주십시오.

실리콘 잉곳 슬라이싱 및 마무리 시퀀스준비된 실리콘 블랭크, 평행 와이어 슬라이싱 및 다운스트림 마감은 세 가지 별도 단계로 표시됩니다. 개념만, 기계 레이아웃이 아닙니다.준비된 블랭크와이어 슬라이싱마무리
공정 개념. 웨이퍼 모양, 치수 및 최종 품질은 합의된 응용 분야에 따라 달라집니다.

메커니즘 및 설정

실리콘 인고트 슬라이싱은 어떻게 인버티드 와이어 웹을 사용합니까?

SOMI2-600S 및 SOMI-430의 인버티드 구성에서 작업물은 절단 웹으로 위쪽으로 공급됩니다. 기계는 와이어 이동과 작업대 공급을 조정합니다. 장착 표면과 사용 가능한 여유 공간은 제안된 블랭크와 함께 검토해야 합니다.

인버티드 피드는 절단 작업의 배열을 설명합니다. 자체적으로 칩핑 감소, 특정 두께 변동 또는 생산 속도를 보장하지는 않습니다. 대표적인 실리콘 재료를 사용하여 전체 설정을 검증하십시오.

절단 패턴과 완성된 두께 분리

롤러 홈 간격은 절단 경로의 간격을 설정합니다. 각 절단 및 후속 마감에서 제거된 재료는 사용 가능한 출력에 영향을 미칩니다. 공칭 와이어 직경만으로 보장된 완성된 두께를 계산하지 마십시오.

선택한 와이어, 롤러 설정, 공급 프로그램 및 측정된 절단 결과를 기록합니다. 정밀 슬라이싱 검사 가이드 수락 검사를 정의하는 데 도움이 됩니다.

Cutting demonstration

Silicon Ingot Multi-Wire Slicing

See silicon ingot slicing with a diamond multi-wire saw. For a cutting trial, provide the ingot dimensions, crystal orientation and target slice thickness.

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Silicon ingot slicing · Diamond multi-wire saw

모델과 작업 일치

어떤 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 기계를 평가해야 합니까?

더 긴 블랭크 · 얇은 슬라이스

SOMI2-600S

SOMI2-600S 인버티드 멀티 와이어 슬라이싱 머신
SOMI2-600S 장비 보기.

660 × 160 × 150mm 작업물 엔벨로프와 0.3–3mm 슬라이스 범위를 나열한 2축, 단일 스테이션 인버티드 멀티 와이어 구성.

블랭크 길이가 SOMI-430 범위를 초과하거나 더 높은 최대 와이어 속도가 절단 시험과 관련이 있을 때 이 모델을 평가하십시오. 최대 속도는 보장된 작동 레시피가 아닙니다.

SOMI2-600S 보기
더 짧은 블랭크 · 얇은 슬라이스

SOMI-430

SOMI-430 역방향 다중 와이어 톱 일러스트레이션
SOMI-430 장비 일러스트레이션.

430 × 160 × 150mm 작업물 엔벨로프와 0.3–3mm 슬라이스 범위를 나열한 2축 인버티드 멀티 와이어 구성.

더 짧은 블랭크 엔벨로프가 작업에 적합할 때 이 모델을 비교하십시오. 더 큰 모델이 필요한지 결정하기 전에 클램핑, 슬라이스 처리 및 측정된 출력을 검토하십시오.

SOMI-430 보기
정사각형 · 슬랩 커팅

SOM4-630D

SOM4-630D 4롤 듀얼 스테이션 멀티 와이어 톱
SOM4-630D 장비 보기.

두 개의 작업 스테이션이 있는 4롤러 접선 레이아웃. 문서화된 실리콘 응용 분야에는 인고트 정사각형 및 슬랩 커팅이 포함되며, 작업물당 630 × 160 × 150mm 엔벨로프가 나열됩니다.

블랭크 준비 작업에 대해 고려하십시오. 견적과 슬라이스 범위를 확인하십시오. 2스테이션 레이아웃만으로 수락된 출력의 두 배를 증명하지는 않습니다.

SOM4-630D 보기

나열된 용량을 비교한 후 시험 요청

모델작업물 엔벨로프기재된 슬라이스 범위레이아웃나열된 최대 와이어 속도
SOMI2-600S660 × 160 × 150 mm3–3 mm2축, 단일 스테이션 인버티드 절단2,200 m/min
SOMI-430430 × 160 × 150 mm3–3 mm2축 인버티드 절단1,200 m/min
SOM4-630D가공물당 630 x 160 x 150mm; 2개 스테이션지정된 애플리케이션에 대해 확인4롤 접선 절단제안된 구성으로 확인
이들은 기계 사양 값이며 검증된 실리콘 생산 레시피가 아닙니다. 모델 번호와 직사각형 가공물 엔벨로프는 웨이퍼 직경 등급이 아닙니다. 모델을 선택하기 전에 실제 단면, 방향, 고정 장치 및 모션 여유 공간을 확인하십시오.

요구 사항이 이러한 엔벨로프를 벗어나는 경우 호환성을 가정하기 전에 도면을 제출하십시오. 멀티 와이어 장비 개요 더 넓은 모델 범위를 제공합니다.

허용된 출력 측정

실리콘 절단 시험은 무엇을 측정해야 합니까?

슬라이스 수락

  • 목표 절단 두께 및 합의된 측정 위치.
  • 두께 변화, 가장자리 상태 및 표면 검사 기준.
  • 방향 및 기준면 요구 사항.
  • 지정된 마무리 공정을 위한 재고 잔량.

공정 및 생산 입력

  • 블랭크 치수, 상태 및 클램핑 배열.
  • 와이어 사양, 롤러 설정 및 공급 설정.
  • 취급 및 검사 시간과 분리된 절단 시간.
  • 허용된 슬라이스 수, 와이어 사용량 및 거부된 조각 이유.

실리콘용 다이아몬드 와이어 톱을 비교할 때 사용 가능한 출력과 마무리 요구 사항을 함께 평가하십시오. 더 높은 최대 와이어 속도, 더 얇은 와이어 또는 추가 작업 스테이션은 허용된 슬라이스당 비용을 낮추기에 충분하지 않습니다.

시험이 제안된 생산 블랭크를 대표하도록 하십시오. 작은 샘플은 절단 접근 방식을 평가하는 데 도움이 될 수 있지만 모든 형상에 대한 전체 길이 처리량 또는 반복성을 확립하지는 않습니다. 절단 전에 시험 범위와 수락 방법을 합의하십시오.

다운스트림 장비 범주에 대해서는 연삭 및 래핑 장비; 를 참조하십시오. 재료 및 마무리 공정을 별도로 확인하십시오. 실리콘 카바이드에는 별도의 SiC 슬라이싱 애플리케이션 가이드.

일반 장비 선택 질문

이것이 완전한 반도체 웨이퍼 제조 라인입니까?

아니요. 이 페이지는 절단 및 블랭크 준비를 다룹니다. 결정 성장, 기타 성형 작업, 마무리, 세척 및 최종 자격은 필요한 제품에 대해 별도로 고려해야 합니다.

660mm 가공물 길이는 660mm 웨이퍼 직경을 의미합니까?

아니요. 명시된 엔벨로프는 660 x 160 x 150mm입니다. 모든 치수, 의도된 절단 방향 및 고정 장치 여유 공간을 확인하십시오. 모델 이름이나 하나의 길이는 웨이퍼 직경 용량을 확립할 수 없습니다.

나열된 0.3mm 슬라이스 제한을 완성된 웨이퍼 두께로 취급할 수 있습니까?

아니요. 나열된 절단 범위입니다. 완성된 두께는 또한 지정된 다운스트림 재료 제거 및 허용된 절단 결과에 따라 달라집니다. 시험에서 요구 사항을 확인하십시오.

SOMI2-600S와 SOMI-430 중에서 어떻게 선택해야 합니까?

들어오는 블랭크로 시작하십시오. 일반적인 단면 제한을 확인하면서 660mm와 430mm의 나열된 길이를 비교하십시오. 그런 다음 필요한 작동 조건과 허용된 출력을 평가하십시오. 더 높은 최대 와이어 속도는 시험을 대체하지 않습니다.

SOM4-630D가 얇은 슬라이스 기계와 함께 나열된 이유는 무엇입니까?

여기에서의 역할은 실리콘 잉곳 정사각형 만들기 및 슬래브 준비입니다. 4롤, 듀얼 스테이션 접선 배열을 사용하며 인버티드 모델의 얇은 슬라이스 범위와 공유한다고 가정하기보다는 해당 작업에 대해 평가해야 합니다.

무료 샘플 절단

실리콘 블랭크와 목표 슬라이스 요구 사항을 보내주십시오.

들어오는 치수, 재료 설명, 절단 방향, 목표 두께, 마무리 여유 및 검사 기준을 포함하십시오. 작업이 정사각형 만들기, 슬래브 절단 또는 얇은 슬라이스 배치 생산인지 명시하십시오.

Vimfun은 SOMI2-600S, SOMI-430 또는 SOM4-630D 경로를 검토하고 대표적인 시험에 대해 논의할 수 있습니다. 팀과 샘플 배열, 유틸리티 및 최종 장비 구성을 확인하십시오.

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