Измерение принятого выхода
Что следует измерять при испытании резки кремния?
Приемка пластины
- Целевая толщина резки и согласованные места измерения.
- Вариация толщины, состояние края и критерии проверки поверхности.
- Требования к ориентации и опорной поверхности.
- Оставшийся материал для указанного процесса финишной обработки.
Входные данные процесса и производства
- Размеры заготовки, состояние и схема зажима.
- Спецификация проволоки, настройка роликов и настройки подачи.
- Время резки отдельно от времени обработки и проверки.
- Принятое количество пластин, использование проволоки и причины отбраковки.
При сравнении алмазно-проволочного станка для резки кремния оценивайте полезный выход и требования к финишной обработке вместе. Более высокая максимальная скорость проволоки, более тонкая проволока или дополнительная рабочая станция недостаточны для установления более низкой стоимости за принятую пластину.
Сохраняйте репрезентативность испытания для предложенной производственной заготовки. Небольшой образец может помочь оценить подход к резке, но он не устанавливает полную пропускную способность или повторяемость для каждой геометрии. Согласуйте объем испытания и метод приемки перед резкой.
Для категории оборудования последующей обработки см. оборудование для шлифования и притирки; отдельно подтвердите материал и процесс финишной обработки. Карбид кремния использует отдельное руководство по применению резки SiC.