Печь для выращивания кристаллов
Прецизионная печь CZ для кремния, германия
и полупроводниковых соединений
Что такое печь для выращивания кристаллов?
Печь для выращивания кристаллов — также известная как установка ЧК (Чемхральского) — является основным оборудованием, используемым для производства слитков монокристаллов из высокочистых сырьевых материалов. Печь плавит поликремний, германий или полупроводниковый материал в кварцевом тигле, затем медленно вытягивает и вращает затравочный кристалл для выращивания монокристаллического слитка без дефектов.
Наши печи для выращивания кристаллов разработаны для 200 мм и 300 мм производства полупроводникового класса, обеспечивая однородность удельного сопротивления, низкое содержание кислорода и высокую производительность, которые требуются современным фабрикам.
Почему выбрать нашу печь для выращивания кристаллов?
Выберите ваше решение для выращивания кристаллов
Масштабируемые платформы печей, созданные для всего, от научно-исследовательских лабораторий до высокопроизводительного производства уровня Tier-1.
- Метод: Непрерывный Чохральский (CCz) / H-MCZ
- Максимальная емкость: 1000 кг (настраиваемая)
- Максимальный диаметр: 300 мм / 12 дюймов
- Однородность: < 6.0% Удельное сопротивление (RRG)
- Метод: Непрерывный Чохральский (CCz) / H-MCZ
- Максимальная емкость: 1000 кг (настраиваемая)
- Максимальный диаметр: 300 мм / 12 дюймов
- Однородность: < 6.0% Удельное сопротивление (RRG)
- Технология: Непрерывный CZ (CCz) / H-MCZ
- Максимальный диаметр: 300 мм / 12 дюймов
- Идентификатор камеры: Φ1400 мм
- Контроль диаметра: ±0.05 мм
Выращиваемые нами материалы
Наша платформа печей CZ поддерживает широкий спектр полупроводниковых материалов
Кремний (Si)
Полупроводниковый кремний CZ для пластин ИС, силовых устройств и солнечных элементов.
Германий (Ge)
Высокочистый германий для инфракрасной оптики, детекторов излучения и оптоволокна.
Арсенид галлия
Полупроводниковое соединение для 5G ВЧ, светодиодных и фотоэлектрических применений.
Карбид кремния (SiC)
Материал с широкой запрещенной зоной для силовой электроники электромобилей и высокотемпературных устройств.
Certifications & Compliance
Разработаны в соответствии с самыми строгими мировыми стандартами для бесшовной интеграции на фабрике.
ISO 9001:2015
Quality Management
RoHS 2
Hazardous Substances
CE Mark
Стандарты безопасности ЕС
SEMI E136
Безопасность оборудования
Готовность к аудиту
Документация
Каждая печь поставляется с полным пакетом FMEA, отчетами об испытаниях и сертификатами материалов. Наша круглосуточная команда инженеров обеспечивает плавный ввод в эксплуатацию на месте и быструю интеграцию на фабрике.
Ready to Scale Your Crystal Production?
Our engineering team has 20+ years of experience in semiconductor crystal growth.
Get a customized furnace recommendation based on your material, production volume, and quality targets. Free consultation included.