CCz-1600
Непрерывный кристаллизатор Чохральского для кремния полупроводникового качества
CCz-1600 — это непрерывный кристаллизатор Чохральского с непрерывной зарядкой, разработанный для производства слитков кремния полупроводникового качества. Автоматическая непрерывная подача и замкнутое легирование твердыми веществами обеспечивают более длительный рост кристаллов, более точный контроль удельного сопротивления и более низкую стоимость за килограмм — без увеличения размера печи.
Четыре причины выбрать непрерывную загрузку.
Все преимущества, перечисленные ниже, проверены в производстве на платформе CCz-1600 и подтверждены внутренними данными валидации процессов.
Автоматическая непрерывная загрузка
Автоматическая система непрерывной подачи с линейно регулируемой скоростью подачи. Колебания скорости подачи в реальном времени удерживаются в пределах ±10 г/мин — достаточно стабильно для поддержания постоянного объема расплава и тепловых условий на протяжении всего процесса роста кристалла.
Высокий эффективный коэффициент легирования
Автоматическая система непрерывного твердого легирования с замкнутым контуром управления. Легирующая добавка подается динамически пропорционально кремниевой загрузке. Эффективный коэффициент легирования в 2–3 раза выше, чем при газофазном легировании, что означает меньший расход легирующей добавки и более точный контроль удельного сопротивления.
Точный контроль удельного сопротивления
Обеспечивает узкое распределение удельного сопротивления по всей длине кристалла. Радиальная и осевая однородность удельного сопротивления поддерживаются за счет поддержания стабильной концентрации легирующей добавки посредством непрерывной пропорциональной подачи — не только на конце затравки.
Более высокая производительность при той же печи
Производительность увеличивается без увеличения размера тигля, корпуса печи или размеров горячей зоны. Непрерывная подача продлевает цикл роста кристалла в той же камере — более высокая эффективность производства и более низкая стоимость килограмма произведенного кристалла.
Валидированные рецептуры.
Реальные производственные данные.
CCz-1600 поставляется с рецептами роста кристаллов, разработанными и проверенными внутри компании. Эти результаты получены из наших собственных выращиваний кристаллов, а не из симуляций.
10-дюймовый Ga-легированный P-тип кристалла
Полный контроль осевого удельного сопротивления на 10-дюймовом галлий-легированном слитке P-типа. Непрерывное легирование обеспечивает строгую однородность от головки до хвоста.
Радиальное RRG: ＜ 6,0%
8-дюймовый P-легированный N-тип сверхнизкого сопротивления
8-дюймовый фосфор-легированный кристалл N-типа со сверхнизким удельным сопротивлением — режим, в котором легирование в газовой фазе не может конкурировать.
Радиальное RRG: ＜ 6%
Технические характеристики
| # | Параметр | Технические характеристики |
|---|---|---|
| 01 | Общие размеры (Д × Ш × В) | 2000 × 2300 × 10800 мм |
| 02 | Емкость загрузки | 1000 кг (настраивается) |
| 03 | Система легирования | Высокоточная непрерывная твердая легирование в режиме онлайн, точность контроля ±0,01 г |
| 04 | Внутренний диаметр основной камеры | Φ1400 мм |
| 05 | Внутренний диаметр тяговой камеры | Φ350 мм |
| 06 | Совместимость горячей зоны | 24–34″ RCZ + 32–34″ CCz; кристаллы диаметром до 10 дюймов |
| 07 | Метод нагрева | Резистивный нагрев, источник питания постоянного тока, Pmax = 150:50 кВт |
| 08 | Метод загрузки | Боковой непрерывный внешний питатель (1200 кг) + динамическое пополнение кремния в режиме онлайн + предварительная загрузка в тигель |
| 09 | Диапазон скорости подачи | 20 – 600 г/мин, линейно регулируемая |
| 10 | Точность контроля скорости подачи | ≤ 500 г/ч |
| 11 | Колебание скорости подачи в реальном времени | ＜ ±10 г/мин |
Экономика непрерывную загрузку.
Непрерывная загрузка не просто меняет способ выращивания кристалла — она меняет экономику производства. Вот что это значит для вашей работы.
Больше кристалла, тот же размер
Увеличьте длину цикла выращивания кристалла в той же камере Φ1400 мм. Нет необходимости инвестировать в печь большего размера, более горячую зону или усиленный пол — производительность масштабируется за счет времени работы, а не размера оборудования.
Более низкая стоимость за килограмм
Исключите цикл охлаждения, перезагрузки и повторного нагрева между вытягиваниями. Непрерывная работа означает больше продуктивных часов работы печи в месяц, что напрямую снижает стоимость кристалла, произведенного за килограмм.
Более строгие спецификации, более высокий выход
Непрерывное легирование поддерживает однородность удельного сопротивления по всему слитку — а не только по первой секции. Больше пригодного кристалла за цикл означает меньше отбракованных пластин и более высокий выход на последующих этапах.
Двойной режим RCZ + CCz
Одна и та же печь работает как с традиционной перезагружаемой CZ, так и с непрерывной загрузкой. Начните с рецептов RCZ, которые вы уже знаете, а затем переходите в непрерывный режим в удобном для вас темпе.
Включены проверенные рецепты
Поставляется с проверенными рецептами роста кристаллов для Ga-легированных P-типа и P-легированных N-типа кристаллов — включая спецификации сверхнизкого удельного сопротивления. Начните с известного рабочего процесса.
Полное обслуживание при доставке
Обследование объекта, установка, ввод в эксплуатацию, квалификация первого кристалла и долгосрочная поставка расходных материалов — все от одного поставщика. Мы остаемся до тех пор, пока печь не начнет производить продукцию в соответствии со спецификациями.
Распространенные вопросы о CCz-1600.
От слитка до полированный кремниевый диск.
После роста кристалла он проходит через обрезку, резку, шлифовку и полировку. Мы поставляем полную производственную линию — один поставщик от установки выращивания кристаллов до готового кремниевого диска.
Готовы обсудить
непрерывное выращивание кристаллов методом Чохральского?
Сообщите ваши целевые характеристики кристалла, объем производства и сроки. Мы ответим в течение 24 часов с оценкой технической пригодности и дальнейшими шагами.