Полный каталог оборудования для производства полупроводниковых пластин
ПОЛНОЕ ПОРТФОЛИО ОБОРУДОВАНИЯ
Рост кристаллов · Резка · Шлифовка · Полировка — Четыре этапа процесса, один поставщик
Vimfun производит полную цепочку оборудования для производства полупроводниковых пластин — от роста монокристаллических слитков до полированных пластин с зеркальной поверхностью. Наш каталог включает печи для роста кристаллов (методы CCz / Kyropoulos), многопроволочные алмазные пилы для высокопроизводительной резки пластин, двусторонние шлифовальные и полировальные станки для плоскостности менее микрона, а также полный ассортимент расходных материалов (алмазные проволочные петли).
- Макс. диаметр заготовки (мм): Φ480
- Макс. усилие обработки: 9000 Н
- Плоскостность плиты: ≤0,02 мм
- Общая мощность: 36 кВт
- Макс. диаметр заготовки (мм): Φ390
- Подшипник: P5 перекрестный роликовый
- Плоскостность плиты: ≤0,015 мм
- Точность толщины: ±2 мкм (опц.)
- Макс. диаметр заготовки (мм): Φ210
- Держатели: 6 шт.
- Плоскостность плиты: ≤0,015 мм
- Контроль давления: ±10 Н