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カテゴリー: Grinding Machine for Wafers
フル装備ポートフォリオ
プロセス段階別結晶成長・ウェーハ製造装置
Vimfunは、単結晶インゴット成長から鏡面研磨ウェーハまで、半導体ウェーハ製造に必要な全設備チェーンを製造しています。当社のカタログには、結晶成長炉(CCz / キロポウロス法)、高スループットウェーハスライス用マルチワイヤダイヤモンドソー、サブミクロン平面度を実現する両面ラッピング・研磨機、および消耗品一式(ダイヤモンドワイヤループ)が含まれています。.
Single Wire Saw Machines
マルチワイヤーソーマシン
研削盤
Crystal Growth Furnace
Single Wire Saw Machines
マルチワイヤーソーマシン
研削盤
Crystal Growth Furnace
両面研磨
最大加工ワーク径 (mm): Φ480
最大加工力: 9000 N
プレート平面度: ≤0.02 mm
総出力: 36 kW
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ラッピングマシン
最大加工ワーク径 (mm): Φ390
ベアリング: P5 クロスローラ
プレート平面度: ≤0.015 mm
厚み精度: ±2 μm (オプション)
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研磨機
最大加工ワーク径 (mm): Φ210
キャリア: 6個
プレート平面度: ≤0.015 mm
圧力制御: ±10 N
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