Catalogue complet d'équipements pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices
PORTEFEUILLE COMPLET D'ÉQUIPEMENTS
Croissance de cristaux · Découpe · Rodage · Polissage — Quatre étapes de processus, un seul fournisseur
Vimfun fabrique la chaîne d'équipements complète pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices — de la croissance de lingots monocristallins aux plaquettes polies avec finition miroir. Notre catalogue comprend des fours de croissance de cristaux (méthodes CCz / Kyropoulos), des scies diamantées multi-fils pour le tranchage de plaquettes à haut débit, des machines de rodage et de polissage double face pour une planéité sub-micronique, et un approvisionnement complet en consommables (boucles de fil diamanté).
- Diamètre max de la pièce (mm) : Φ480
- Force de traitement max : 9000 N
- Planéité de la plaque : ≤0,02 mm
- Puissance totale : 36 kW
- Diamètre max de la pièce (mm) : Φ390
- Roulement : Roulement croisé P5
- Planéité de la plaque : ≤0,015 mm
- Précision d'épaisseur : ±2 μm (opt.)
- Diamètre max de la pièce (mm) : Φ210
- Porte-pièces : 6 pièces
- Planéité de la plaque : ≤0,015 mm
- Contrôle de la pression : ±10 N