Catégorie : Grinding Machine for Wafers
PORTEFEUILLE COMPLET D'ÉQUIPEMENTS
Équipement de croissance cristalline et de fabrication de plaquettes par étape de processus
Vimfun fabrique la chaîne d'équipements complète pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices — de la croissance de lingots monocristallins aux plaquettes polies avec finition miroir. Notre catalogue comprend des fours de croissance de cristaux (méthodes CCz / Kyropoulos), des scies diamantées multi-fils pour le tranchage de plaquettes à haut débit, des machines de rodage et de polissage double face pour une planéité sub-micronique, et un approvisionnement complet en consommables (boucles de fil diamanté).
- Diamètre max de la pièce (mm) : Φ480
- Force de traitement max : 9000 N
- Planéité de la plaque : ≤0,02 mm
- Puissance totale : 36 kW
- Diamètre max de la pièce (mm) : Φ390
- Roulement : Roulement croisé P5
- Planéité de la plaque : ≤0,015 mm
- Précision d'épaisseur : ±2 μm (opt.)
- Diamètre max de la pièce (mm) : Φ210
- Porte-pièces : 6 pièces
- Planéité de la plaque : ≤0,015 mm
- Contrôle de la pression : ±10 N