Machine de rodage 16B-5LY/P
Le Machine de rodage 16B-5LY/P est un système planétaire à 5 porte-pièces de taille moyenne conçu pour les fabricants qui ont besoin d'une meilleure précision sur des pièces plus grandes jusqu'à Φ390 mm. Équipé d'un roulement à rouleaux croisés de grade P5 — un grade au-dessus du 13B — il atteint une planéité ≤0,015 mm et est le choix recommandé pour plaquettes SiC de 8 pouces, grands filtres optiques, et substrats de saphir.
Le Machine de rodage 16B-5LY/P se situe entre le compact 13B-6LY/P et le robuste 22BF-5LY/P — et représente le meilleur équilibre entre capacité et précision pour la plupart des scénarios de production de plaquettes de semi-conducteurs, de filtres optiques et de céramiques avancées. Le diamètre de plateau de Φ1154 mm et le roulement à rouleaux croisés de grade P5 en font le choix privilégié lorsque les diamètres des pièces dépassent Φ210 mm ou lorsque les cycles de production plus longs exigent des performances soutenues de haute précision. C'est le modèle le plus largement déployé dans la ligne de rectification et de polissage double face de Vimfun.
Machine de rodage 16B-5LY/P — 6 caractéristiques supérieures
La broche principale utilise un roulement à rouleaux croisés de grade P5 (grade 5 ISO 492) — un grade au-dessus du 13B — offrant des tolérances de battement plus serrées et une précision de rotation soutenue sous forte charge, préservant une planéité ≤0,015 mm sur de longs cycles de production.
Les quatre entraînements (plateau supérieur, plateau inférieur, engrenage solaire, couronne extérieure) utilisent des moteurs d'arbre à vis sans fin de haute précision, offrant une transmission de couple fluide et une excellente répétabilité. Idéal pour les cycles de production prolongés nécessitant des taux d'enlèvement de matière constants.
Le plateau supérieur (0–20 tr/min), le plateau inférieur (0–50 tr/min), l'engrenage solaire (0–22 tr/min) et la couronne extérieure (0–16 tr/min) sont tous réglables en fréquence indépendamment. Cela permet d'optimiser les recettes de processus pour chaque matériau — SiC, saphir, verre ou céramique — sans modifications mécaniques.
La rotation avant et arrière de l'engrenage solaire est contrôlée par logiciel, permettant l'optimisation du processus sans ajustements mécaniques. Améliore l'uniformité de l'enlèvement de matière sur les 5 positions de porte-pièces simultanément, réduisant la variation au sein d'un lot.
Les plateaux de rodage supérieur et inférieur tournent dans des directions opposées, entraînant le train planétaire par le biais du pignon solaire et de la couronne dentée interne à un rapport de vitesse idéal — assurant un meulage et un polissage simultanés et uniformes sur les deux surfaces de la pièce.
Le plateau inférieur atteint un faux-rond ≤0,04 mm et une planéité ≤0,015 mm — et cela peut être remis en état sur site par des techniciens formés. Un cycle de remise en état standard restaure les performances en 2 à 4 heures sans intervention d'usine ni expédition du plateau.
Spécifications techniques — 16B-5LY/P-4M
| Paramètre | Valeur | Remarque |
|---|---|---|
| Encombrement total (cylindres principaux et auxiliaires inclus) | 1860 × 1450 × 2650 mm | |
| Taille du plateau – Polissage (SUS 410) | Φ1154 × Φ364 × 50 mm | |
| Taille du plateau – Rodage (fonte ductile) | Φ1154 × Φ364 × 50 mm | Type de rainure annulaire |
| Diamètre maximal de la pièce | Φ390 mm | |
| Modèle de pignon solaire | Cercle de rappel Φ423,34 / Module DP12 | |
| Nombre de porte-satellites | 5 pièces | |
| Module d'engrenage | DP12 | |
| Puissance totale | 20 kW | AC380V |
| Poids de la machine | ~ 4800 kg | Approximatif |
| Entraînement de la plaque inférieure | 7,5 kW | Arbre d'engrenage à vis sans fin de haute précision |
| Entraînement de la plaque supérieure | 7,5 kW | Arbre d'engrenage à vis sans fin de haute précision |
| Entraînement de l'engrenage solaire | 1,5 kW | Arbre d'engrenage à vis sans fin de haute précision |
| Entraînement de l'engrenage annulaire extérieur | 2,2 kW | Arbre d'engrenage à vis sans fin de haute précision |
| Vitesse de la plaque supérieure | 0 ~ 20 tr/min | Fréquence réglable |
| Vitesse de la plaque inférieure | 0 ~ 50 tr/min | Fréquence réglable |
| Vitesse de l'engrenage solaire | 0 ~ 22 tr/min | Fréquence réglable |
| Vitesse de l'engrenage de la couronne extérieure | 0 ~ 16 tr/min | Fréquence réglable |
| Battement de la plaque inférieure | ≤ 0,04 mm | |
| Planéité de la plaque inférieure | ≤ 0,015 mm | Réparable sur site |
| Battement de la face d'extrémité de l'engrenage de la couronne extérieure | ≤ 0,35 mm | |
| Battement de l'engrenage central | ≤ 0,20 mm | |
| Jeu interne/externe de l'engrenage | ≤ 0,40 mm | |
| Précision du contrôle de pression | ±10 N | |
| Précision du contrôle d'épaisseur | ±2 μm | En option |
| Contrôle de direction de l'engrenage solaire | Marche avant/arrière contrôlée par logiciel | |
| Type de roulement principal | Roulement à rouleaux croisés de grade P5 |
Quels matériaux la 16B-5LY/P peut-elle traiter ?
Rodage de plaquettes de saphir jusqu'à Φ390 mm pour les applications LED, optiques et laser. La précision des roulements P5 assure une planéité constante sur les substrats de grande surface.
Conditionnement de surface de précision plaquettes SiC de 8 pouces. Le contrôle de vitesse indépendant optimise les taux d'enlèvement pour le SiC dur tout en maintenant le TTV sous 1 μm.
Filtres passe-bande et interférentiels en plus grands formats. La planéité ≤0,015 mm et le parallélisme de précision sont essentiels pour l'adhérence du revêtement optique et les performances spectrales.
Substrats en verre de couverture d'écran et en verre microcristallin pour les applications de l'industrie 3C. Le démarrage en douceur du VFD évite l'écaillage des bords sur les panneaux de verre grand format.
Composants en alumine, nitrure de silicium et zircone grand format pour des applications structurelles et électroniques nécessitant une uniformité d'épaisseur et une finition de surface précises.
Composants en métal dur, bagues de roulement et faces d'étanchéité mécanique nécessitant une planéité et un parallélisme double face à des tolérances sub-microniques pour des applications industrielles exigeantes.
Pourquoi choisir le Vimfun 16B-5LY/P
La machine de rodage 16B-5LY/P est le juste milieu entre la compacte 13B et la robuste 22BF. Ses plateaux de Φ1154 mm et sa configuration à 5 porte-pièces couvrent la plus large gamme d'exigences de production de semi-conducteurs et d'optique.
Les roulements à rouleaux croisés de grade P5 (ISO 492 Grade 5) maintiennent des tolérances de faux-rond plus serrées et de meilleures performances sur des cycles de production prolongés que les roulements standard, protégeant ainsi vos spécifications de planéité à long terme.
Vimfun fabrique les plateaux de rodage 16B en interne. Les plateaux de 1154×364×50 mm arrivent avec un faux-rond ≤0,04 mm et une planéité ≤0,015 mm, entièrement vérifiés, sans rodage préalable requis.
Le contrôle de processus programmable basé sur le temps permet à un seul opérateur de superviser simultanément plusieurs machines de rodage 16B-5LY/P, réduisant ainsi considérablement les coûts de main-d'œuvre sans compromettre la cohérence du processus.
Foire aux questions — Machine de rodage 16B-5LY/P
La 16B gère des pièces plus grandes (Φ390 mm contre Φ210 mm), utilise des roulements à rouleaux croisés de grade P5 pour une plus grande précision, dispose de moteurs plus puissants (7,5+7,5 kW contre 7,5+5,5 kW) et d'une plaque plus grande (Φ1154 mm contre Φ933 mm). Choisissez la 16B lorsque le diamètre de la pièce dépasse Φ210 mm ou lorsque la précision soutenue à long terme est la priorité.
Oui. Avec un diamètre de pièce maximal de Φ390 mm, la 16B-5LY/P traite confortablement les plaquettes de 8 pouces (200 mm). La configuration à 5 porte-pièces peut également traiter plusieurs plaquettes plus petites simultanément pour maximiser le débit par cycle. Pour des données de référence sur la préparation de surface des plaquettes de SiC, voir MDPI : Recherche sur le traitement des plaquettes de SiC.
Le contrôle indépendant des vitesses de la plaque supérieure, de la plaque inférieure, du pignon solaire et de la couronne permet aux ingénieurs d'ajuster la cinématique exacte pour chaque matériau. Le SiC nécessite des passes lentes et à haute pression ; le verre nécessite des cycles rapides et à faible pression. Cette flexibilité n'est pas disponible sur les machines plus simples à 2 axes et améliore directement la qualité de la finition de surface et le rendement.
Avec une sélection appropriée de la pâte et du tampon de polissage, la 16B-5LY/P atteint des Ra sub-nanométriques sur le saphir. Combiné à une planéité ≤0,015 mm et à un TTV inférieur à 1 μm, cela répond aux spécifications des plaquettes prêtes pour l'épitaxie et de qualité optique pour la production de substrats LED.
Passez à la 22BF-5LY/P lorsque le diamètre de la pièce dépasse Φ390 mm, l'épaisseur de la pièce dépasse 25 mm, les exigences de force de traitement dépassent 3500 N, ou que les objectifs de production exigent le débit le plus élevé avec une capacité de plaque de Φ480 mm.
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