16B-5LY/P 래핑기
그만큼 16B-5LY/P 래핑기 은 Φ390mm까지의 더 큰 작업물에 대해 더 나은 정밀도를 필요로 하는 제조업체를 위해 제작된 중형 5-캐리어 플래너리 시스템입니다. P5 등급의 교차 롤러 베어링 — 13B — 보다 한 등급 높은 — 장착되어 있어 평탄도 ≤0.015mm를 달성하며 다음을 위한 권장 선택입니다. 8인치 SiC 웨이퍼, 대형 광학 필터 및 사파이어 기판.
그만큼 16B-5LY/P 래핑기 컴팩트 모델과 13B-6LY/P 중장비 모델인 22BF-5LY/P 사이에 위치하며 — 대부분의 반도체 웨이퍼, 광학 필터 및 첨단 세라믹 생산 시나리오에서 용량과 정밀도의 최적 균형을 제공합니다. Φ1154mm 플레이트 직경과 P5 등급의 교차 롤러 베어링은 작업물 직경이 Φ210mm를 초과하거나 장기 생산 시 지속적인 고정밀 성능이 요구될 때 선호되는 선택입니다. Vimfun의 양면 연삭 및 연마 라인에서 가장 널리 사용되는 모델입니다.
16B-5LY/P 래핑 머신 — 6가지 우수한 특징
메인 스핀들은 P5 등급 교차 롤러 베어링(ISO 492 등급 5)을 사용합니다. 이는 13B 모델보다 한 등급 높은 것으로, 더 엄격한 런아웃 허용 오차와 높은 부하에서도 지속적인 회전 정밀도를 제공하여 장기 생산 주기 동안 평탄도 ≤0.015mm를 유지합니다.
모든 4개의 드라이브(상부 플레이트, 하부 플레이트, 선 기어, 외부 링)는 고정밀 웜 기어 샤프트 모터를 사용하여 부드러운 토크 전달과 뛰어난 반복성을 제공합니다. 일관된 재료 제거율이 요구되는 장기 생산에 이상적입니다.
상부 플레이트(0–20 rpm), 하부 플레이트(0–50 rpm), 선 기어(0–22 rpm), 외부 링 기어(0–16 rpm)는 모두 독립적으로 주파수 조절이 가능합니다. 이를 통해 기계적 변경 없이 SiC, 사파이어, 유리 또는 세라믹 등 각 재료에 대한 최적화된 공정 레시피를 구현할 수 있습니다.
선 기어의 정방향 및 역방향 회전은 소프트웨어로 제어되어 기계적 조정 없이 공정 최적화를 가능하게 합니다. 모든 5개의 캐리어 위치에서 재료 제거의 균일성을 동시에 향상시켜 배치 내 편차를 줄입니다.
상하 래핑 플레이트는 반대 방향으로 회전하며, 선 기어와 내부 링 기어를 통해 유성 기어를 이상적인 속도비로 구동하여 양쪽 작업물 표면에 균일하고 동시적인 연삭 및 연마를 보장합니다.
하부 플레이트는 런아웃 ≤0.04mm 및 평탄도 ≤0.015mm를 달성하며, 이는 숙련된 기술자가 현장에서 재조정할 수 있습니다. 표준 재조정 주기는 공장 개입이나 플레이트 배송 없이 2-4시간 내에 성능을 복원합니다.
기술 사양 — 16B-5LY/P-4M
| 매개변수 | 가치 | 참고 |
|---|---|---|
| 전체 설치 공간 (주 및 보조 실린더 포함) | 1860 × 1450 × 2650 mm | |
| 플레이트 크기 – 연마 (SUS 410) | Φ1154 × Φ364 × 50 mm | |
| 플레이트 크기 – 래핑 (연성 주철) | Φ1154 × Φ364 × 50 mm | 링 홈 타입 |
| 최대 작업물 직경 | Φ390 mm | |
| 선 기어 모델 | 백 서클 Φ423.34 / 모듈 DP12 | |
| 캐리어 수 | 5개 | |
| 기어 모듈 | DP12 | |
| 총 전력 | 20 kW | AC380V |
| 기계 무게 | ~ 4800 kg | 대략적인 |
| 하부 플레이트 드라이브 | 7.5 kW | 고정밀 웜 기어 샤프트 |
| 상부 플레이트 드라이브 | 7.5 kW | 고정밀 웜 기어 샤프트 |
| 선 기어 드라이브 | 1.5 kW | 고정밀 웜 기어 샤프트 |
| 외부 링 기어 드라이브 | 2.2 kW | 고정밀 웜 기어 샤프트 |
| 상부 플레이트 속도 | 0 ~ 20 rpm | 주파수 조절 가능 |
| 하부 플레이트 속도 | 0 ~ 50 rpm | 주파수 조절 가능 |
| 선 기어 속도 | 0 ~ 22 rpm | 주파수 조절 가능 |
| 외부 링 기어 속도 | 0 ~ 16 rpm | 주파수 조절 가능 |
| 하부 플레이트 런아웃 | ≤ 0.04 mm | |
| 하부 플레이트 평탄도 | ≤ 0.015 mm | 현장 수리 가능 |
| 외부 링 기어 엔드 페이스 런아웃 | ≤ 0.35 mm | |
| 센터 기어 런아웃 | ≤ 0.20 mm | |
| 내부/외부 기어 런아웃 | ≤ 0.40 mm | |
| 압력 제어 정확도 | ±10 N | |
| 두께 제어 정확도 | ±2 μm | 선택 사항 |
| 선 기어 방향 제어 | 소프트웨어 제어 정방향/역방향 | |
| 메인 베어링 타입 | P5 등급 교차 롤러 베어링 |
16B-5LY/P는 어떤 재료를 가공할 수 있습니까?
사파이어 웨이퍼 래핑 LED, 광학 및 레이저 응용 분야를 위해 최대 Φ390 mm. P5 베어링 정밀도는 대면적 기판의 일관된 평탄도를 보장합니다.
정밀 표면 컨디셔닝 8인치 SiC 웨이퍼. 독립적인 속도 제어는 단단한 SiC의 제거율을 최적화하는 동시에 TTV를 1 μm 미만으로 유지합니다.
대형 포맷의 대역 통과 필터 및 간섭 필터. 평탄도 ≤0.015mm 및 정밀 병렬성은 광학 코팅 접착 및 스펙트럼 성능에 중요합니다.
3C 산업 응용 분야를 위한 디스플레이 커버 유리 및 마이크로 결정질 유리 기판. 부드러운 VFD 시작은 대형 유리 패널의 가장자리 칩핑을 방지합니다.
두께 균일성과 표면 마감이 엄격하게 요구되는 구조 및 전자 응용 분야를 위한 대형 알루미나, 질화규소 및 지르코니아 부품.
까다로운 산업 응용 분야를 위해 마이크로미터 이하의 공차로 양면 평탄도 및 병렬성이 요구되는 경질 금속 부품, 베어링 링 및 기계식 씰 페이스.
Vimfun 16B-5LY/P를 선택해야 하는 이유
16B-5LY/P 연마기는 컴팩트한 13B와 중장비 22BF 사이의 최적점입니다. Φ1154mm 플레이트와 5개의 캐리어 구성은 가장 넓은 범위의 반도체 및 광학 생산 요구 사항을 충족합니다.
P5 등급 교차 롤러 베어링(ISO 492 등급 5)은 표준 베어링보다 연장된 생산 주기 동안 더 엄격한 런아웃 공차와 더 나은 성능을 유지하여 장기적으로 평탄도 사양을 보호합니다.
Vimfun은 16B 연마 플레이트를 자체 생산합니다. 1154×364×50mm 플레이트는 런아웃 ≤0.04mm 및 평탄도 ≤0.015mm로 제공되며 완전히 검증되었으며 별도의 연마 작업이 필요하지 않습니다.
타이머 기반 프로그래밍 가능한 공정 제어를 통해 단일 오퍼레이터가 16B-5LY/P 연마기 16대를 동시에 감독할 수 있어 공정 일관성을 저하시키지 않으면서 인건비를 크게 절감할 수 있습니다.
자주 묻는 질문 — 16B-5LY/P 연마기
16B는 더 큰 작업물(Φ390mm 대 Φ210mm)을 처리하고, 더 높은 정밀도를 위해 P5 등급 교차 롤러 베어링을 사용하며, 더 강력한 드라이브(7.5+7.5kW 대 7.5+5.5kW)와 더 큰 플레이트(Φ1154mm 대 Φ933mm)를 갖추고 있습니다. 작업물 직경이 Φ210mm를 초과하거나 지속적인 장기 정밀도가 우선 순위인 경우 16B를 선택하십시오.
예. 최대 작업물 직경 Φ390mm로 16B-5LY/P는 8인치(200mm) 웨이퍼를 편안하게 처리합니다. 5개의 캐리어 구성은 또한 여러 개의 작은 웨이퍼를 동시에 배치하여 사이클당 처리량을 극대화할 수 있습니다. SiC 웨이퍼 표면 준비에 대한 참조 데이터는 다음을 참조하십시오. MDPI: SiC 웨이퍼 처리 연구.
상부 플레이트, 하부 플레이트, 선 기어 및 링 기어 속도의 독립적인 제어를 통해 엔지니어는 각 재료에 대한 정확한 운동학을 조정할 수 있습니다. SiC는 느리고 고압의 패스를 필요로 하며, 유리는 빠르고 가벼운 압력 사이클이 필요합니다. 이 유연성은 더 간단한 2축 기계에서는 사용할 수 없으며 표면 마감 품질과 수율을 직접적으로 향상시킵니다.
적절한 슬러리 및 연마 패드 선택을 통해 16B-5LY/P는 사파이어에서 나노미터 이하의 Ra를 달성합니다. 평탄도 ≤0.015mm 및 TTV 1μm 미만과 결합하여 LED 기판 생산을 위한 에피 준비 및 광학 등급 웨이퍼 사양을 충족합니다.
로 이동하십시오. 22BF-5LY/P 작업물 직경이 Φ390mm를 초과하거나, 작업물 두께가 25mm를 초과하거나, 처리력 요구 사항이 3500N을 초과하거나, 생산 목표가 Φ480mm 플레이트 용량으로 최고 처리량을 요구하는 경우.
기타 연삭 및 연마 기계
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