CCz-1600
Tirage Continu Czochralski pour Silicium de Qualité Semi-conducteur
Le CCz-1600 est un tirage continu Czochralski conçu pour la production de lingots de silicium de qualité semi-conducteur. L'alimentation continue automatisée et le dopage solide en boucle fermée permettent des tirages de cristal plus longs, un contrôle de résistivité plus strict et un coût par kilogramme inférieur — sans augmenter la taille du four.
Quatre raisons de choisir le chargement continu.
Tous les avantages ci-dessous sont éprouvés en production sur la plateforme CCz-1600 — étayés par des données de validation de processus internes.
Alimentation continue automatisée
Système d'alimentation continue automatisé avec débit d'alimentation réglable linéairement. La fluctuation du débit d'alimentation en temps réel est maintenue en dessous de ±10 g/min — suffisamment stable pour maintenir un volume de fusion et des conditions thermiques constants tout au long de la croissance du cristal.
Coefficient de dopage efficace élevé
Système de dopage solide continu automatisé avec contrôle en boucle fermée. Le dopant est alimenté dynamiquement proportionnellement à la charge de silicium. Le coefficient de dopage efficace est 2 à 3 fois supérieur au dopage en phase gazeuse — ce qui signifie moins de gaspillage de dopant et un contrôle de résistivité plus fort.
Contrôle précis de la résistivité
Permet une distribution de résistivité étroite sur toute la longueur du cristal. L'uniformité de la résistivité radiale et axiale est maintenue en gardant la concentration de dopant stable grâce à une alimentation proportionnelle continue — pas seulement à l'extrémité de la graine.
Débit plus élevé, même four
Le débit augmente sans augmenter la taille du creuset, le corps du four ou les dimensions de la zone chaude. L'alimentation continue prolonge la course du cristal dans la même chambre — une efficacité de production plus élevée et un coût par kilogramme de cristal produit plus bas.
Recettes validées.
Données de production réelles.
Le CCz-1600 est livré avec des recettes de croissance cristalline développées et validées en interne. Ces résultats proviennent de nos propres tirages de cristaux — pas de simulations.
Cristal de 10 pouces dopé au Ga de type P
Contrôle de la résistivité axiale sur toute la longueur d'un lingot de 10 pouces dopé au gallium de type P. Le dopage continu maintient une uniformité serrée de la tête à la queue.
RRG radial : ＜ 6,01 %
8 pouces dopé au P de type N Ultra-bas Ω
Cristal de 8 pouces dopé au phosphore de type N à très faible résistivité — le régime où le dopage en phase gazeuse ne peut pas rivaliser.
RRG radial : ＜ 61 %
Spécifications techniques
| # | Paramètre | Spécifications |
|---|---|---|
| 01 | Dimensions globales (L × l × H) | 2000 × 2300 × 10800 mm |
| 02 | Capacité de Charge | 1000 kg (personnalisable) |
| 03 | Système de dopage | Dopage solide continu en ligne de haute précision, précision de contrôle ±0,01g |
| 04 | Diamètre intérieur de la chambre principale | Φ1400 mm |
| 05 | Diamètre intérieur de la chambre de traction | Φ350 mm |
| 06 | Compatibilité de la zone chaude | RCZ 24–34″ + CCz 32–34″ ; cristaux jusqu'à 10″ de diamètre |
| 07 | Méthode de chauffage | Chauffage par résistance, alimentation CC, Pmax = 150:50 kW |
| 08 | Méthode de chargement | Alimentateur externe continu monté sur le côté (1200 kg) + réapprovisionnement dynamique de silicium en ligne + pré-chargement dans le creuset |
| 09 | Plage de débit d'alimentation | 20 – 600 g/min, réglable linéairement |
| 10 | Précision du contrôle du débit d'alimentation | ≤ 500 g/h |
| 11 | Fluctuations du débit d'alimentation en temps réel | ＜ ±10 g/min |
L'économie de le chargement continu.
La charge continue ne change pas seulement la façon dont vous faites croître le cristal — elle change l'économie de la production. Voici ce que cela signifie pour votre exploitation.
Plus de cristal, même empreinte
Prolongez la durée de croissance du cristal à partir de la même chambre de Φ1400mm. Pas besoin d'investir dans un four plus grand, une zone chaude plus importante ou un sol renforcé — le débit augmente grâce à la durée de fonctionnement, pas à la taille de l'équipement.
Coût par kilogramme plus bas
Éliminez le cycle de refroidissement, de rechargement et de réchauffage entre les tirages. Le fonctionnement continu signifie plus d'heures de four productives par mois, réduisant directement le coût par kilogramme de cristal produit.
Spécifications plus strictes, rendement plus élevé
Le dopage continu maintient l'uniformité de la résistivité sur l'ensemble du lingot — pas seulement sur la première section. Plus de cristal utilisable par tirage signifie moins de plaquettes rejetées et un rendement en aval plus élevé.
Double mode RCZ + CCz
Le même four exécute à la fois le CZ rechargé conventionnel et la charge continue. Commencez avec les recettes RCZ que vous connaissez déjà, puis passez en mode continu à votre rythme.
Recettes éprouvées incluses
Livré avec des recettes de croissance de cristal validées pour les cristaux de type P dopés au Ga et de type N dopés au P — y compris des spécifications de résistivité ultra-faible. Commencez avec un processus connu et éprouvé.
Livraison avec service complet
Étude de site, installation, mise en service, qualification du premier cristal et approvisionnement à long terme en consommables — le tout auprès d'un seul fournisseur. Nous restons jusqu'à ce que le four produise selon les spécifications.
Questions courantes sur le CCz-1600.
De l'ingot au tranche polie.
Après la croissance du cristal, il passe par le tronçonnage, le sciage, le rodage et le polissage. Nous fournissons la chaîne aval complète — un seul fournisseur, du tireur de cristal à la tranche finie.
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