CCz-1600
Kontinuierlicher Czochralski-Kristallzieher für Halbleiter-Silizium
Der CCz-1600 ist ein kontinuierlicher Czochralski-Kristallzieher mit kontinuierlicher Beschickung für die Produktion von Halbleiter-Silizium-Ingots. Die automatisierte kontinuierliche Beschickung und die geschlossene Regelung der Feststoffdotierung ermöglichen längere Kristallwachstumszyklen, eine präzisere Kontrolle des spezifischen Widerstands und niedrigere Kosten pro Kilogramm – ohne Vergrößerung des Ofens.
Vier Gründe für die Wahl kontinuierlicher Beschickung.
Alle unten aufgeführten Vorteile sind produktionserprobt auf der CCz-1600-Plattform – gestützt durch interne Prozessvalidierungsdaten.
Automatisierte kontinuierliche Beschickung
Automatisiertes kontinuierliches Zuführsystem mit linear einstellbarer Zuführrate. Schwankungen der Zuführrate in Echtzeit werden unter ±10 g/min gehalten – stabil genug, um ein konsistentes Schmelzvolumen und thermische Bedingungen während des gesamten Kristallwachstumslaufs aufrechtzuerhalten.
Hoher effektiver Dotierkoeffizient
Automatisiertes kontinuierliches Feststoffdotiersystem mit Closed-Loop-Regelung. Das Dotierstoff wird dynamisch proportional zur Siliziumcharge zugeführt. Der effektive Dotierkoeffizient ist 2–3× höher als bei der Gasphasendotierung – das bedeutet weniger Dotierstoffabfall und eine stärkere Widerstandskontrolle.
Präzise Widerstandskontrolle
Ermöglicht eine enge Widerstandsverteilung über die gesamte Kristallänge. Sowohl die radiale als auch die axiale Widerstandseinheitlichkeit werden durch Aufrechterhaltung einer stabilen Dotierstoffkonzentration durch kontinuierliche proportionale Zuführung aufrechterhalten – nicht nur am Keimende.
Höherer Durchsatz, gleicher Ofen
Der Durchsatz steigt, ohne die Tiegelgröße, den Ofenkörper oder die Abmessungen der Heizzone zu vergrößern. Die kontinuierliche Zuführung verlängert den Kristalllauf aus derselben Kammer – höhere Produktionseffizienz und geringere Kosten pro Kilogramm produzierten Kristalls.
Validierte Rezepte.
Reale Produktionsdaten.
Der CCz-1600 wird mit intern entwickelten und validierten Kristallzüchtungsrezepten geliefert. Diese Ergebnisse stammen aus unseren eigenen Kristallzügen – nicht aus Simulationen.
10″ Ga-dotierter P-Typ-Kristall
Vollständige axiale Widerstandsregelung bei einem 10-Zoll-Gallium-dotierten P-Typ-Barren. Kontinuierliche Dotierung sorgt für eine enge Gleichmäßigkeit von Kopf bis Fuß.
Radialer RRG: ＜ 6,0%
8″ P-dotierter N-Typ Ultra-Low-Ω
Ultra-niedriger Widerstand, 8-Zoll-Phosphor-dotierter N-Typ-Kristall – das Regime, in dem die Gasphasendotierung nicht mithalten kann.
Radialer RRG: ＜ 6%
Technische Spezifikationen
| # | Parameter | Spezifikation |
|---|---|---|
| 01 | Gesamtmaße (L × B × H) | 2000 × 2300 × 10800 mm |
| 02 | Einsatzkapazität | 1000 kg (anpassbar) |
| 03 | Doping-System | Hochpräzise kontinuierliche Online-Feststoffdotierung, Regelgenauigkeit ±0,01 g |
| 04 | Innendurchmesser der Hauptkammer | Φ1400 mm |
| 05 | Innendurchmesser der Ziehkammer | Φ350 mm |
| 06 | Heißzonenkompatibilität | 24–34″ RCZ + 32–34″ CCz; Kristalle bis zu 10″ Durchmesser |
| 07 | Heizmethode | Widerstandsheizung, DC-Netzteil, Pmax = 150:50 kW |
| 08 | Beschickungsmethode | Seitenmontierter kontinuierlicher externer Feeder (1200 kg) + dynamische Online-Siliziumnachspeisung + Vorbeladung in der Tiegel |
| 09 | Bereich der Beschickungsrate | 20 – 600 g/min, linear einstellbar |
| 10 | Regelgenauigkeit der Beschickungsrate | ≤ 500 g/h |
| 11 | Echtzeit-Beschickungsratenschwankung | ＜ ±10 g/min |
Die Ökonomie von kontinuierlicher Beschickung.
Kontinuierliches Laden verändert nicht nur die Art und Weise, wie Sie Kristalle züchten – es verändert die Produktionsökonomie. Hier erfahren Sie, was das für Ihren Betrieb bedeutet.
Mehr Kristall, gleiche Stellfläche
Verlängern Sie die Kristallwachstumslänge in der gleichen Φ1400mm Kammer. Keine Notwendigkeit, in einen größeren Ofen, eine größere Heizzone oder einen verstärkten Boden zu investieren – der Durchsatz skaliert durch die Laufzeit, nicht durch die Gerätegröße.
Geringere Kosten pro Kilogramm
Eliminieren Sie den Abkühl-, Nachlade- und Wiederaufheizzyklus zwischen den Zügen. Kontinuierlicher Betrieb bedeutet mehr produktive Ofenstunden pro Monat, was die Kosten pro Kilogramm des produzierten Kristalls direkt reduziert.
Engere Spezifikation, höhere Ausbeute
Kontinuierliches Dotieren erhält die Gleichmäßigkeit des spezifischen Widerstands über den gesamten Barren – nicht nur den ersten Abschnitt. Mehr nutzbarer Kristall pro Lauf bedeutet weniger Ausschusswafer und eine höhere Ausbeute nachgelagerter Prozesse.
RCZ + CCz Dual-Modus
Derselbe Ofen betreibt sowohl konventionelles nachgeladenes CZ als auch kontinuierliches Laden. Beginnen Sie mit RCZ-Rezepten, die Sie bereits kennen, und wechseln Sie dann in Ihrem eigenen Tempo in den kontinuierlichen Modus.
Bewährte Rezepte inklusive
Wird mit validierten Kristallwachstumsrezepten für Ga-dotierte P-Typ- und P-dotierte N-Typ-Kristalle geliefert – einschließlich Spezifikationen für ultra-niedrigen spezifischen Widerstand. Beginnen Sie mit einem bekannten, guten Prozess.
Vollständige Servicebereitstellung
Standortbegehung, Installation, Inbetriebnahme, Qualifizierung des ersten Kristalls und langfristige Verbrauchsmaterialversorgung – alles aus einer Hand. Wir bleiben, bis der Ofen spezifikationsgerecht produziert.
Häufig gestellte Fragen zum CCz-1600.
Vom Barren zum polierte Wafer.
Nach dem Kristallwachstum durchläuft er das Zuschneiden, Sägen, Läppen und Polieren. Wir liefern die gesamte nachgelagerte Linie – ein Lieferant vom Kristallzieher bis zum fertigen Wafer.
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