Crystal Growing Furnace

Precision CZ Furnace for Silicon, Germanium
& Compound Semiconductors

What Is a Crystal Growing Furnace?

Ein Kristallzüchtungsofen – auch bekannt als CZ (Czochralski)-Ziehanlage – ist die Kernausrüstung zur Herstellung von Einkristallbarren aus hochreinen Rohstoffen. Der Ofen schmilzt Polysilizium-, Germanium- oder Halbleiter-Rohmaterialien in einem Quarztiegel, zieht dann langsam einen Impfkristall und dreht ihn, um einen defektfreien monokristallinen Block zu züchten.

Unsere Kristallzüchtungsöfen sind für die 200 mm und 300 mm Halbleiterproduktion ausgelegt und liefern die enge Widerstands uniformity, den geringen Sauerstoffgehalt und den hohen Durchsatz, die moderne Fabs benötigen.

Czochralski-Kristallzüchtungsofen für Germanium

Warum unseren Kristallzüchtungsofen wählen?

200–300 mm
Waferdurchmesser
2.0 mm/min
Maximale Ziehgeschwindigkeit
250 h+
Tiegel-Lebensdauer
~50%
Energieeinsparung

Wählen Sie Ihre Kristallzüchtungslösung

Skalierbare Ofenplattformen, die für alles von F&E-Laboren bis zur Tier-1-Massenfertigung entwickelt wurden.

Kyropoulos-Saphir-Kristallwachstumsofen
  • Methode: Kontinuierliches Czochralski (CCz) / H-MCZ
  • Max. Kapazität: 1000kg (Anpassbar)
  • Max. Durchmesser: 300 mm / 12 Zoll
  • Gleichmäßigkeit: < 6,0% Widerstand (RRG)
Kontinuierlicher Czochralski-Kristallzieher
  • Methode: Kontinuierliches Czochralski (CCz) / H-MCZ
  • Max. Kapazität: 1000kg (Anpassbar)
  • Max. Durchmesser: 300 mm / 12 Zoll
  • Gleichmäßigkeit: < 6,0% Widerstand (RRG)
12-Zoll MCZ-Kristallziehanlage
  • Technologie: Kontinuierliches CZ (CCz) / H-MCZ
  • Max. Durchmesser: 300 mm / 12 Zoll
  • Kammer-ID: Φ1400 mm
  • Durchmesserregelung: ±0,05 mm

Zertifizierungen & Konformität

Entwickelt, um die strengsten globalen Standards für nahtlose Fab-Integration zu erfüllen.

ISO 9001

ISO 9001:2015

Qualitätsmanagement

RoHS 2

RoHS 2

Gefährliche Stoffe

CE-Kennzeichnung

CE-Kennzeichnung

EU-Sicherheitsstandards

SEMI E136

SEMI E136

Gerätesicherheit

Audit-bereit
Dokumentation

Jeder Ofen wird mit einem vollständigen FMEA-Paket, Testberichten und Materialzertifizierungen geliefert. Unser 24/7-Ingenieurteam sorgt für eine reibungslose Inbetriebnahme vor Ort und eine schnelle Fab-Integration.

Bereit, Ihre Kristallproduktion zu skalieren?

Unser Ingenieurteam verfügt über mehr als 20 Jahre Erfahrung im Halbleiterkristallwachstum.

Erhalten Sie eine maßgeschneiderte Ofenempfehlung basierend auf Ihrem Material, Produktionsvolumen und Ihren Qualitätszielen. Kostenlose Beratung inklusive.

20+
Jahre Erfahrung
500+
Installierte Öfen
24/7
Technische Unterstützung
99.5%
Kundenzufriedenheit
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