KX360MCZ
12-дюймовый кристаллизатор MCZ для 300-мм кремния IC-класса
KX360MCZ — это 12-дюймовая установка для выращивания кристаллов MCZ разработан для выращивания монокристаллических кремниевых слитков 300 мм без COP для производства пластин IC-класса. Горизонтальное сверхпроводящее магнитное поле подавляет конвекцию расплава во время роста, в то время как камера из зеркально полированной стали 316L и система контроля диаметра на основе машинного зрения с точностью ±0,05 мм обеспечивают профиль дефектов, необходимый для передовых фабрик пластин для логических и запоминающих устройств.
Создан для пластин без COP.
Оптимизирован для Передовые узлы.
Стандартные установки Чохральского достигают пределов при диаметре 300 мм. Естественная конвекция расплава при таком диаметре вносит кислородные полосы и микродефекты, которые дисквалифицируют кристалл для передовой логики и DRAM. KX360MCZ добавляет горизонтальное сверхпроводящее магнитное поле — тот же подход, который используется на ведущих в мире 12-дюймовых фабриках ИС — для активного подавления конвекции в расплавленном кремнии. Результат: кристаллические секции без COP, достаточно длинные для нарезки пластин в производственных масштабах, с контролем кислорода, необходимым для соответствия современным спецификациям пластин. KX360MCZ как 12-дюймовая установка для выращивания кристаллов MCZ разработан специально для решения этой задачи.
Engineered for the things that break yield in production.
FEA-Validated Frame Structure
The full-system frame is FEA-modeled for resonance modes during meltdown and growth. Vibration leakage into the seed shaft is the silent killer of crystal yield — the structural mass and damping geometry here is engineered to keep low-frequency vibration out of the melt.
316L Mirror-Polished Growth Chamber
316L stainless inner walls, 360° mirror polished. The polish isn't cosmetic — particle adhesion drops sharply on a Ra <0.4μm surface, which makes between-batch chamber cleanup faster and reduces particulate inclusions in the next pull.
Контроль диаметра ±0.05 мм
Vision algorithm plus control loop hold the crystal body diameter within ±0.05mm of recipe target. Loose diameter control means more grind-down loss when the ingot hits the cropper. ±0.05mm preserves usable diameter for downstream slicing.
One-Click Growth Recipes
Dip, neck, shoulder, body, and tail run as a single recipe. Operator intervention is reserved for exception handling — alarm response, recovery, recipe modification — not routine phase transitions. Reduces operator-induced variation across shifts.
Независимость от платформы магнита
Программные и аппаратные интерфейсы предварительно настроены для приема отечественных китайских, японских и европейских платформ сверхпроводящих магнитов. Если у вас уже есть договор на обслуживание магнита, тяговое устройство интегрируется, а не требует смены поставщика.
Широкий диапазон регулирования давления
Высокоточный дроссельный клапан плюс регулятор массового расхода плюс активный самоочищающийся выпускной фильтр. Активный фильтр имеет значение: пассивный фильтр засоряется дымом SiO во время длительного вытягивания, и давление в камере колеблется. Самоочистка поддерживает стабильный поток аргона для вытягивания в течение 100+ часов.
Регулируемый подъем нагревателя [ОПЦИЯ]
Опциональный механизм подъема нагревателя предоставляет рецепту дополнительную ось для настройки. Полезно при оптимизации кислородного профиля или температурного градиента на границе раздела твердое тело-жидкость — особенно для нестандартных горячих зон или новых рецептов выращивания кристаллов.
"Функции, которые действительно повышают выход продукции, — это те, которые никто не указывает в спецификациях — гашение вибраций, отделка камеры, самоочистка фильтра."
Технические характеристики
| # | Параметр | Технические характеристики |
|---|---|---|
| 01 | Максимальный диаметр кристалла | 12 дюймов (300 мм) |
| 02 | Приложение | 12-дюймовая установка для выращивания кристаллов MCZ для кремния класса IC 300 мм без COP |
| 03 | Внутренний диаметр камеры | Φ1400 мм |
| 04 | Высота камеры выращивания | 3500 – 5000 мм (на заказ) |
| 05 | Диаметр камеры выращивания | Φ400 мм |
| 06 | Диапазон размеров горячей зоны | 32″ – 36″ |
| 07 | Тип магнитного поля | Горизонтальный сверхпроводящий (стандарт); другие типы по запросу |
| 08 | Точность контроля диаметра | ±0.05 мм |
| 09 | Материал камеры | Нержавеющая сталь 316L, зеркальная полировка 360° |
| 10 | Пиковая мощность нагревателя | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
| 11 | Непрерывная мощность нагревателя | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
| 12 | Максимальный вес кремниевого расплава | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
| 13 | Диаметр тигля | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
| 14 | Диапазон скорости вытягивания | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
| 15 | Уровень вакуума (базовое давление) | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
| 16 | Диапазон расхода аргона | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
| 17 | Напряженность магнитного поля | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
| 18 | Источник питания нагревателя | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
| 19 | Требования к охлаждающей воде | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
| 20 | Общие габариты (Д × Ш × В) | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
| 21 | Общий вес | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
| 22 | Соответствие | Свяжитесь с нами для получения подробных спецификаций |
Для кого предназначен KX360MCZ предназначен.
12-дюймовый кристаллизатор MCZ — это капиталовложение стоимостью в миллионы долларов. Это не подходящий инструмент для каждого производителя кремния. Четыре приведенных ниже профиля клиентов — это те случаи, когда наш 12-дюймовый кристаллизатор MCZ обеспечивает явную рентабельность инвестиций по сравнению со стандартными альтернативами CZ.
12-дюймовые фабрики по производству ИС-пластин
Для новых фабрик, вводящих в эксплуатацию мощности 300 мм, или существующих фабрик, добавляющих возможности MCZ для достижения более низкого содержания кислорода и более низких уровней дефектов кристаллов, необходимых для передовых узлов.
Лаборатории НИОКР по росту кристаллов
Университеты и корпоративные группы НИОКР, разрабатывающие новые рецепты роста кристаллов, которым нужен кристаллизатор производственного класса для валидации процессов, а не лабораторный исследовательский прибор, который не масштабируется.
Поставщики пластин IDM, локализующие цепочки поставок
Поставщики пластин, обслуживающие регионы, где импорт кристаллизаторов из США/Японии/Германии сталкивается с ограничениями или длительными сроками поставки. KX360MCZ предлагает альтернативу с региональной сервисной поддержкой.
Увеличение мощностей у производителей 12-дюймовых пластин
Существующие производители 300-миллиметровых пластин, использующие устаревшие кристаллизаторы, которые хотят получить современный агрегат с автоматизацией в одно нажатие и обновленным контролем диаметра для увеличения выхода на печь.
4. Почему MCZ для 5. кристалла для пластин диаметром 300 мм? 6. Стандартные установки CZ могут выращивать кристаллы диаметром 300 мм, но профиль дефектов редко соответствует спецификациям IC-grade без агрессивного последующего отбора. Добавление горизонтального сверхпроводящего магнитного поля (H-MCZ) меняет экономику. Таблица ниже суммирует компромисс на уровне пластин.
7. Стандартная установка CZ.
| Метрика | 8. KX360MCZ (H-MCZ) ★ | 9. Диаметр кристалла |
|---|---|---|
| 10. до 12 дюймов (ограничено выходом) | 11. Оптимизировано для 12 дюймов | 12. Контроль кислорода |
| 13. Ограничен естественной конвекцией | 14. Активное подавление с помощью H-поля | 15. Профиль дефектов |
| Defect Profile | Более высокая плотность COP | Достижимо без COP |
| Лучшее применение | Солнечные / промышленные / не-IC кремниевые пластины | Логика и память класса IC |
| Капитальные затраты | Ниже | Выше (магнит + криогеника) |
| Эксплуатационные расходы | Ниже | Выше (жидкий гелий / криокулер) |
| Срок службы горячей зоны | Стандарт | Эквивалентный |
| Выход пластин по спецификации IC | Ниже | Значительно выше |
Почему клиенты выбирают наши 12-дюймовый кристаллизатор MCZ.
Мы предлагаем наш 12-дюймовый кристаллизатор MCZ как комплексную программу — оборудование, настройка горячей зоны, ввод в эксплуатацию и расходные материалы — а не как разовую сделку. Вот как это выглядит на практике.
Производственно-валидированная платформа
KX360MCZ построен на основе архитектуры горячей зоны и управления, проверенной на производстве пластин диаметром 300 мм. Это не исследовательский прототип — это коммерческий кристаллизатор, готовый к установке в чистой комнате и работе в непрерывном режиме.
Обследование объекта и ввод в эксплуатацию включены
Установка 12-дюймового кристаллизатора требует точных фундаментных работ, интеграции инженерных систем (подача жидкого гелия для магнита, питание криокулера, зазор для рассеянного поля) и поэтапного запуска. Наши инженеры проводят предварительное обследование объекта перед поставкой и полный ввод в эксплуатацию на месте, оставаясь на объекте до квалификации первого кристалла.
Совместная разработка горячей зоны
Конфигурации горячей зоны от 32 до 36 дюймов позволяют настраивать рецепты для достижения конкретных показателей содержания кислорода, углерода и удельного сопротивления. Мы совместно разрабатываем горячую зону с вами на основе ваших целевых спецификаций пластин — это не универсальная конфигурация из каталога.
Долгосрочная поставка расходных материалов
Тигли, графитовые детали и нагревательные элементы определяют эксплуатационные расходы в течение 10-летнего срока службы кристаллизатора. Мы имеем долгосрочные соглашения о поставках расходных материалов для серии KX — это важно для планирования производства и прогнозирования операционных расходов.
вопросы о 12-дюймовом MCZ.
Другие кристаллизаторы в наш модельный ряд.
KX360MCZ — наша флагманская 12-дюймовая модель. Мы также поставляем установки для меньших диаметров пластин, используемых в устаревшей логике, MEMS, датчиках и дискретных силовых устройствах. Если ваш проект находится между стандартными размерами пластин или вам нужна установка исследовательского класса для НИОКР по выращиванию кристаллов, свяжитесь с нами для обсуждения индивидуальных конфигураций.
6-дюймовая установка для выращивания кристаллов
Для полупроводниковых и специальных кремниевых применений размером 150 мм. Доступны обе конфигурации: CZ и MCZ.
СВЯЖИТЕСЬ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОДРОБНОСТЕЙ →8-дюймовая установка для выращивания кристаллов
Для производства пластин ИС и силовых устройств размером 200 мм. Наиболее распространенный рабочий размер для фабрик силовых полупроводников и аналоговых ИС.
СВЯЖИТЕСЬ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОДРОБНОСТЕЙ →KX360MCZ ★
Для производства ИС-пластин размером 300 мм без COP. Вы здесь.
▶ СМОТРЕТЬ СЕЙЧАС
Связанное оборудование в
линия по производству пластин.
Кристалловытяжная машина — это первый этап. После роста слитка он проходит через обрезку, резку, шлифовку и полировку. Мы поставляем полную производственную линию последующих этапов — это означает одного поставщика для процесса от слитка до полированной пластины.
Ищете
12-дюймовую кристалловытяжную машину MCZ?
Независимо от того, покупаете ли вы свою первую 12-дюймовую кристалловытяжную машину MCZ или расширяете существующие мощности, поделитесь спецификациями ваших пластин, целевым объемом и сроками вашего объекта. Мы ответим в течение 24 часов с оценкой технической пригодности, оценкой сроков поставки и планом для детального обмена спецификациями.