Категория: Products
ПОЛНОЕ ПОРТФОЛИО ОБОРУДОВАНИЯ
Оборудование для выращивания кристаллов и производства пластин по стадиям процесса
Vimfun производит полную цепочку оборудования для производства полупроводниковых пластин — от роста монокристаллических слитков до полированных пластин с зеркальной поверхностью. Наш каталог включает печи для роста кристаллов (методы CCz / Kyropoulos), многопроволочные алмазные пилы для высокопроизводительной резки пластин, двусторонние шлифовальные и полировальные станки для плоскостности менее микрона, а также полный ассортимент расходных материалов (алмазные проволочные петли).
- Технология: Непрерывный CZ (CCz) / H-MCZ
- Максимальный диаметр: 300 мм / 12 дюймов
- Идентификатор камеры: Φ1400 мм
- Контроль диаметра: ±0.05 мм
- 2 станции
- Длина заготовки: 10–70 мм
- Ширина заготовки: 10–90 мм
- 15 шт./мин
Четырехроликовая двухпозиционная тангенциальная резка для квадратной обработки кремниевых слитков и твердых, хрупких материалов. Производительность 630 × 160 × 150 мм на позицию.
- Максимальная длина заготовки (мм): 200
- Максимальная ширина заготовки (мм): 200
- Максимальная высота заготовки (мм): 200
- Режущий инструмент: Бесконечная проволока
- 4 станции
- Длина заготовки: 10–70 мм
- Ширина заготовки: 10–90 мм
- 15 шт./мин
- Максимальная длина заготовки (мм): 200
- Максимальная ширина заготовки (мм): 200
- Максимальная высота заготовки (мм): 200
- Режущий инструмент: Бесконечная проволока
- Максимальная длина заготовки (мм): 200
- Максимальная ширина заготовки (мм): 200
- Максимальная высота заготовки (мм): 200
- Режущий инструмент: Бесконечная проволока
- Макс. диаметр заготовки (мм): Φ480
- Макс. усилие обработки: 9000 Н
- Плоскостность плиты: ≤0,02 мм
- Общая мощность: 36 кВт
Оборудование для резки на двух рабочих плитах для крупногабаритных твердых и хрупких блоков. Размер загрузки 400 × 400 × 830 мм; диапазон нарезки 1–35 мм.
- Диаметр проволоки (мм): 0.3 - 3.5
- Длина провода (мм): 700 - 10000
Двухосевая перевернутая резка кремния, сапфира и керамики. Заготовки размером 430 × 160 × 150 мм; диапазон нарезки 0,3–3 мм.
- Макс. диаметр заготовки (мм): Φ390
- Подшипник: P5 перекрестный роликовый
- Плоскостность плиты: ≤0,015 мм
- Точность толщины: ±2 мкм (опц.)