반도체 웨이퍼 제조를 위한 완벽한 장비 카탈로그

전체 장비 포트폴리오

결정 성장 · 절단 · 연마 · 폴리싱 — 네 가지 공정 단계, 한 공급업체

Vimfun은 단결정 잉곳 성장부터 거울처럼 매끄러운 연마 웨이퍼까지 반도체 웨이퍼 제조를 위한 전체 장비 체인을 제조합니다. 당사의 카탈로그에는 결정 성장로(CCz / Kyropoulos 방식), 고처리량 웨이퍼 슬라이싱을 위한 다중 와이어 다이아몬드 톱, 마이크로미터 이하의 평탄도를 위한 양면 연마 및 폴리싱 기계, 그리고 완전한 소모품 공급(다이아몬드 와이어 루프)이 포함됩니다.

사파이어 결정 성장로

방법: 연속 초크랄스키 (CCz) / H-MCZ
최대 용량: 1000kg (맞춤 가능)
최대 직경: 300 mm / 12 인치
균일성: < 6.0% 비저항 (RRG)

세그먼트 코팅 다이아몬드 와이어 루프

와이어 직경(mm): 0.65-3.5mm
전선 길이(m): 1-10

SH60-R

최대 공작물 직경(mm): 600
최대 공작물 높이(mm): 500
절단 도구: 무한 와이어
회전 기능 포함

실리콘 결정 성장 장치

방법: 연속 초크랄스키 (CCz) / H-MCZ
최대 용량: 1000kg (맞춤 가능)
최대 직경: 300 mm / 12 인치
균일성: < 6.0% 비저항 (RRG)

실리콘 잉곳 절단기

최대 가공물 길이 (mm): 직경 330*2500
상하단 절단
브릿지 컷
시딩

SOM2-600S

최대 가공물 길이 (mm): 660*160*150
슬라이싱 두께 (mm): 0.3-3mm
역방향 톱질
와이어 이동 속도: 최대 2200 m/min

SOM4-750D

최대 가공물 길이 (mm): 750*180*150
2개의 로딩 스테이션
슬라이싱 두께 (mm): 1.5-20mm
ID 톱 교체

SOMS3-430S

최대 가공물 길이 (mm): 430*160*150
슬라이싱 두께 (mm): 0.5-3mm
스윙 커팅
초경질 절단

스플라이스 가능한 석영 절단 와이어

와이어 직경(mm): 2.0mm
전선 길이(mm): 4500 mm

스레드 코팅 다이아몬드 와이어 루프

와이어 직경(mm): 0.55-1.0mm
전선 길이(m): 1-10

수직 단선 와이어 톱

최대 공작물 길이(mm): 400
최대 공작물 너비(mm): 400
최대 공작물 높이(mm): 350
절단 도구: 무한 와이어

최대 공작물 길이(mm): 200
최대 공작물 너비(mm): 200
최대 공작물 높이(mm): 200