Размеры и толщина кремниевых пластин: Справочная таблица

Читайте толщину кремниевой пластины в контексте

Спецификация может описывать толщину в определенном месте, среднюю толщину или пределы по всей оцененной площади. Она также может отдельно определять общую вариацию толщины. Эти детали необходимы для интерпретации требования; одно номинальное значение оставляет слишком много неопределенности.

Сайт Краткое изложение области применения SEMI M1 касается указанных полированных монокристаллических пластин и отличает их от других категорий пластин. Это стандартный справочник, а не доказательство того, что конкретная заготовка удовлетворяет полному стандарту.

Справочная таблица

Размеры кремниевых пластин определяют категории диаметров, в то время как стандартная толщина кремниевой пластины зависит от спецификации подложки и этапа процесса. Читайте таблицу как набор справочных примеров, а не универсальный стандарт покупки. Пользовательская исследовательская пластина или позже утоненная подложка могут отличаться от этих примеров, не противореча своему чертежу.

Следующие значения воспроизводят размерные диапазоны в учебных материалах Гонконгского университета науки и техники и пример в спецификации пластин Стэнфордского университета. Это справочные примеры из этих документов, а не утверждение о сегодняшних универсально требуемых размерах. Применимые спецификация и редакция заказчика остаются определяющими.

Источники: Примечания к подготовке кремниевых пластин Стэнфордского университета и Спецификации пластин Стэнфорда.

Не объединяйте диапазоны в новый стандарт и не прикрепляйте к ним допуски машины. Эти примеры показывают, почему толщина кремниевой пластины должна быть связана с определенной категорией пластины. Они не устанавливают пределы для солнечных пластин, пользовательских исследовательских подложек или последующей операции утонения.

Указаны ли единицы измерения и допуск?

Миллиметры и микрометры часто встречаются в одном проекте. Указывайте единицу измерения в каждом заголовке чертежа и таблицы. Преобразование 0,725 мм в 725 мкм изменяет обозначение, а не физическую толщину. Пропущенная единица измерения может привести к гораздо большей ошибке, чем обычное отклонение процесса.

При рассмотрении толщины кремниевой пластины различайте десятичное значение и допуск. Целевое значение 0,725 мм не означает, что каждая измеренная точка должна иметь именно такую толщину. Допуск и метод измерения должны быть указаны отдельно.

Коммерческие дюймовые обозначения также могут быть приблизительными названиями размеров. Используйте указанный метрический диаметр при проверке приспособлений и приемке оборудования, а не рассчитывайте новый диаметр приемки по неформальной маркировке.

Диапазон 200 мм в учебной таблице, 0,715–0,735 мм, преобразуется в 715–735 мкм. Диапазон 300 мм, 0,755–0,775 мм, преобразуется в 755–775 мкм. Эти преобразования не добавляют точности, не обновляют документ и не делают его примеры обязательными для нового заказа.

Для толщины кремниевой пластины сохраняйте исходную категорию рядом с числом. Примеры Стэнфордского университета для 100 мм и учебная таблица Стэнфордского университета служат разным целям. Не объединяйте их в новый “стандартный допуск”, собранный из несвязанных строк.

Я бы скопировал утвержденную цель и допуск непосредственно в чертеж заготовки, указав единицу измерения в метке поля. Ловушка заключается в копировании знакомого значения толщины кремниевой пластины, а затем в позволении оператору самому определять припуск на чистовую обработку. Этот припуск должен быть утвержден процессом приемки, а не угадываться на станке.

Справочное значение не является спецификацией покупки.

Определяет ли диаметр толщину?

Большая пластина может потребовать другого оборудования для обработки и процесса, но один только диаметр не может определить ее требование к толщине. Исследовательские пластины, тестовые пластины, пользовательские подложки и позже утоненные пластины могут отличаться от обычно встречающихся входящих подложек.

При закупке кремниевых пластин определите тип пластины и операцию, к которой относится требование. Если заказчик использует необычно тонкую подложку, подтвердите, поступает ли она тонкой, поддерживается на носителе или утоняется после обработки устройства. Это разные производственные маршруты.

Не делайте выводов о возможностях режущего станка по справочной таблице готовых подложек. Фактическая заготовка станка, толщина заготовки и требования к качеству должны оцениваться напрямую.

Сколько материала будет удалено при чистовой обработке?

Пила производит заготовку для определенного процесса приемки. Любой материал, удаленный механической или химической чистовой обработкой, должен быть включен в запланированный припуск. Этот припуск должен исходить из утвержденного маршрута, а не из произвольного процента, добавленного к справочной толщине.

Используйте резка кремниевых слитков как контекст применения, а затем задокументируйте фактическое состояние передачи. Запрос на “стандартные пластины” менее полезен, чем чертеж, описывающий требуемую заготовку и ее предполагаемый следующий шаг.

Толщина кремниевой пластины на пиле должна записываться отдельно от конечной толщины. Сохраняйте измерения до и после, связанные с одним и тем же образцом, если испытание чистовой обработки используется для определения маршрута.

Учет ширины резки и восстановления материала

Повторяющийся интервал разреза включает в себя оставшийся материал заготовки и эффективный рез. Увеличение толщины заготовки изменяет количество разрезов, доступных из пригодного для использования участка, в то время как припуски на рез и конец также потребляют материал. Таким образом, выбор толщины влияет как на выход, так и на обработку.

Сравните принятое восстановление при тех же требованиях к отделке. Более тонкая заготовка не принесет пользы, если ее не хватит или она сломается при извлечении. Аналогично, более толстая заготовка может потребовать дополнительной обработки, которая перевесит кажущееся улучшение выживаемости.

Испытание толщины кремниевой пластины должно фиксировать пригодный входной материал, количество разрезов, отбракованный материал и результат принимающей операции. Геометрические оценки следует отделять от продемонстрированного выхода.

При необходимости измеряйте более одной точки

Одно центральное показание не может установить равномерность толщины по всей пластине. Выберите шаблон измерения и исключение края в соответствии с требованием приемки. Запишите условие поддержки, метод измерения и пригодность состояния поверхности для измерения.

Общее отклонение толщины описывает диапазон на определенной площади; прогиб и коробление описывают форму в соответствии с определенными соглашениями. Целевая толщина кремниевой пластины не заменяет эти критерии, когда они важны для следующей операции.

Для тонких заготовок согласуйте обработку и измерение перед испытанием. Если образец не может быть надежно оценен с помощью доступного прибора, опишите ограничение, а не представляйте неопределенные показания в качестве доказательства возможностей.

Проверьте оборудование по сравнению с реальной сборкой

Оценка станка должна включать установленный материал, приспособление, желаемое расстояние между срезами и порядок освобождения. Диаметр необработанного слитка — лишь один из входных параметров. Также подтвердите, является ли производственная цель отдельным образцом, опытной партией или многократным многолинейным выводом.

Просмотрите машину для резки пластин в соответствии с фактическим требованием. Таблица ссылок выше не гарантирует, что одна конфигурация охватывает любую толщину или диаметр кремниевой пластины из указанных.

Предоставьте процесс приемки и критерии проверки вместе с запросом. Это позволит поставщику предложить репрезентативный тест вместо ответа на широкий вопрос о размерах с номинальным диапазоном станка.

Укажите отдельные требования к толщине для каждого состояния

Присвойте конечному требованию и промежуточному требованию разные названия. Заказ на покупку, в котором одно значение толщины повторяется для каждого процесса, может оставить оператора в неведении относительно того, относится ли оно к необрезанной заготовке или к готовому субстрату. Указывайте состояние рядом с числом везде, где оно появляется.

Толщина кремниевой пластины должна быть привязана к окну приемки, а не только к номинальному значению. Спросите, какая область оценивается, какие локальные отклонения имеют значение и когда происходит измерение. Приемной группе может потребоваться сохранить материал для собственной обработки, поэтому одно только центральное показание может не ответить на ее вопрос.

Не используйте диаметр как сокращение для чертежа толщины. Если требование включает стандарт, укажите применимую спецификацию и согласованную версию. Если деталь нестандартная, обозначьте ее как нестандартную и предоставьте ее собственные условия приемки. Знакомый размер пластины не делает каждое неуказанное требование стандартным.

Отделяйте припуски от потерь при резке. Материал, зарезервированный для последующего удаления, остается в заготовке; материал, удаленный пилой, — нет. Объединение этих двух в один припуск затемняет компоновку и может привести к неверной оценке количества срезов. Нарисуйте повторяющийся интервал перед его использованием в планировании материалов.

При изменении толщины кремниевой пластины пересмотрите обработку и приспособление, а не только корректируйте компоновку направляющих. Спросите, как будут поддерживаться детали во время разделения, как будет сохраняться порядок и соответствует ли схема контроля требованиям. Это обзор предложенной задачи, а не утверждение о том, что каждая более тонкая заготовка обязательно не проходит.

Возвращаемая запись должна включать наблюдения после резки и любые последующие исправления. Если поставщик измеряет только после отделки, четко укажите это. Исправленный результат не может установить исходное состояние резки, если не задокументированы также удаленный материал и предыдущее состояние.

Используйте испытание для решения фактического вопроса по чертежу. Это может касаться окна заготовки, резерва на отделку или разногласий в измерениях. Назовите этот вопрос перед запуском. Демонстрация самой тонкой разделяемой детали может быть интересной, но она не устанавливает толщину, которую может принять получатель продукции.

Выберите страницу, которая отвечает на ваш вопрос

Эта статья отвечает на вопрос: Какое значение толщины следует указать в заказе на пилу? Она не заменяет следующие области оборудования или применения.

ЧАСТО ЗАДАВАЕМЫЕ ВОПРОСЫ

Является ли конечная толщина кремниевой пластины целевым значением для пилы?

Не когда последующие операции удаляют материал. Толщина кремниевой пластины при окончательной приемке и целевое значение после резки должны быть указаны отдельно. Команда отделки должна одобрить зарезервированный материал, а не оставлять оператору пилы делать выводы.

Дополняет ли диаметр требование к толщине кремниевой пластины?

Ни одна метка диаметра не дополняет требование. Укажите применимый стандартный или нестандартный чертеж и условие приемки. Информация о номинальном размере полезна, но она не заменяет окно толщины и метод контроля.

Что меняется, когда целевое значение толщины кремниевой пластины уменьшается?

Пересмотрите запас на отделку, поддержку, освобождение и измерение вместе с целевой толщиной. Запишите, что фактически установлено испытанием. Тонкий неповрежденный образец сам по себе не демонстрирует приемлемый стандартный выход для всего процесса.

Сформулируйте однозначное требование

Практическая спецификация определяет материал, категорию пластины, диаметр, требуемую плоскость, целевое значение толщины после резки, допуск, область оценки и припуск на отделку. Добавьте принятое состояние края и поверхности и укажите метод измерения.

Толщина кремниевой пластины наиболее полезна как часть этого полного требования. Справочные диапазоны могут помочь команде задавать лучшие вопросы, но утвержденный чертеж определяет фактическую работу. Сохранение стадии процесса и определения измерения в поле зрения предотвращает превращение обычного справочного значения в необоснованное производственное обещание.

Используйте справочную таблицу для определения вопросов, а затем выдайте фактический чертеж заготовки. Укажите толщину кремниевой пластины на требуемой стадии процесса, ее допуск, область контроля и припуск на отделку. Отдельно подтвердите установленный диапазон. Держите справочный документ и текущую спецификацию покупки отдельно при сравнении предложений поставщиков.