Прецизионная обработка поверхностей
Двусторонний шлифовальный станок
3 модели для заготовок диаметром от Φ210 мм до Φ480 мм. Плоскостность ≤ 0,015 мм, контроль давления ±10 Н, поверхность Ra субнанометрового уровня — для пластин из SiC, сапфира, оптического стекла и передовой керамики.
Высокоточный двусторонний шлифовальный станок для передовых материалов
A двусторонний шлифовальный станок одновременно обрабатывает обе стороны заготовки между двумя вращающимися в противоположных направлениях шлифовальными плитами, достигая плоскостности и параллельности, которые не могут обеспечить односторонние методы. Серия планетарных приводов Vimfun специально разработана для твердых, хрупких и дорогостоящих материалов: пластин из карбида кремния (SiC), сапфировых подложек, оптических фильтров, керамики из оксида алюминия, кристаллического кварца и прецизионных механических компонентов.
Каждая модель использует высокоточный подшипник с перекрестными роликами в качестве основного подшипника шпинделя — тот же класс подшипников, что и в шпинделях станков немецкого и японского производства. Система планетарного привода (солнечная шестерня + кольцевая шестерня + планетарные держатели) обеспечивает равномерное распределение давления по всем заготовкам одновременно, устраняя скатывание краев и смещение плоскостности, характерные для традиционного одноосевого шлифования.
Линейка двусторонних шлифовальных станков Vimfun наследует полную научно-исследовательскую базу AVIC Jiangxi Optoelectronics, имея более 35 патентов и подтвержденные внедрения у BYD, Foxconn, Lens Technology и Bill Crystal. Независимо от того, требует ли ваше применение контроля TTV для силовых устройств SiC следующего поколения или плоскостности для прецизионной оптики, существует модель Vimfun, соответствующая вашему масштабу производства.
Выберите свой двусторонний шлифовальный станок
Компактная серия
13B-6LY/P
6-кареточный · Макс. Φ210 мм · НИОКР и мелкосерийное производство
Макс. диаметр заготовки.Φ210 мм
Плоскостность пластины≤ 0.015 мм
Сила обработки120–3500 Н
Контроль давления±10 Н
Точность толщины±2 мкм (опц.)
Общая мощность18 кВт
Вес станка~4 300 кг
Лучше всего подходит для: оптических фильтров, сапфировых пластин ≤ 8 дюймов, подложек из карбида кремния, лабораторий НИОКР и мелкосерийного производства
Самый популярный
Серия среднего размера
16B-5LY/P
5-кареточный · Подшипник P5 · Макс. Φ390 мм
Макс. диаметр заготовки.Φ390 мм
Плоскостность пластины≤ 0.015 мм
Класс подшипникаP5 перекрестный ролик
Контроль давления±10 Н
Точность толщины±2 мкм (опц.)
Общая мощность20 кВт
Вес станка~4 800 кг
Лучше всего подходит для: производства 12-дюймовых пластин, крупного оптического стекла, промышленной керамики, полупроводниковых линий среднего и высокого объема
Серия для тяжелых условий эксплуатации
22BF-5LY/P
5-кареток · Макс. Φ480 мм · Усилие 9000 Н
Макс. диаметр заготовки.Φ480 мм
Плоскостность пластины≤ 0,02 мм
Максимальное усилие9000 Н (→12000)
Контроль давления±20 Н
Точность толщины±0,01 мм (опц.)
Общая мощность36 кВт
Вес станка~9 000 кг
Лучше всего подходит для: крупных керамических блоков, толстых механических компонентов, тяжелого промышленного производства в максимальном масштабе
Сравнение полных спецификаций — Все 3 модели двухсторонних шлифовальных станков
| Параметр | 13B-6LY/P | 16B-5LY/P ⭐ | 22BF-5LY/P |
|---|---|---|---|
| Максимальный диаметр заготовки | Φ210 мм | Φ390 мм | Φ480 мм |
| Макс. толщина заготовки | 25 мм | 25 мм | 45 мм |
| Плоскостность нижнего диска | ≤ 0.015 мм | ≤ 0.015 мм | ≤ 0,02 мм |
| Диапазон обрабатывающего усилия | 120–3500 Н | — | 150–9000 Н |
| Точность регулирования давления | ±10 Н | ±10 Н | ±20 Н |
| Основной подшипник | Перекрестный ролик | P5 перекрестный ролик | Перекрестный ролик |
| Измерение толщины (опц.) | ±2 мкм | ±2 мкм | ±0,01 мм |
| Количество держателей | 6 шт. | 5 шт. | 5 шт. |
| Наружный диаметр пластины | Φ933 мм | Φ1154 мм | Φ1492 мм |
| Общая мощность | 18 кВт | 20 кВт | 36 кВт |
| Вес машины | ~4 300 кг | ~4 800 кг | ~9 000 кг |
Обрабатываемые материалы на двухсторонних шлифовальных станках Vimfun
Полупроводниковые пластины
SiC (карбид кремния), Si (кремний), GaAs — прецизионная шлифовка до TTV < 1 мкм для производства силовых устройств и интегральных схем. → Полупроводниковые решения
Сапфировые подложки
Сапфировые пластины для светодиодов и оптического класса. Поверхностная шероховатость Ra менее нанометра с алмазной суспензией на двухстороннем шлифовальном станке. → Сапфировые решения
Оптическое стекло и фильтры
Оптическое фильтрующее стекло, подложки из синего стекла, BK7, плавленое кварцевое стекло. Плоскостность ≤ 0,015 мм для поверхностей интерференционного качества в оптических системах.
Передовая керамика
Подложки из оксида алюминия (Al₂O₃), нитрида кремния (Si₃N₄), диоксида циркония, AlN. Модель 22BF обрабатывает крупные керамические блоки диаметром до Φ480 мм при усилии 9000 Н. → Керамические решения
Кристалл и кварц
Кварцевые пластины, пьезоэлектрические кристаллы (LiNbO₃, LiTaO₃), оптические кристаллы. Плоскостность и параллельность напрямую влияют на постоянство резонансной частоты.
Прецизионные механические детали
Подшипниковые кольца, уплотнительные поверхности, клапанные пластины и карбидные компоненты. Расширяемое усилие модели 22BF в 12 000 Н позволяет обрабатывать закаленные стали и твердые сплавы.
Почему стоит выбрать двухсторонний шлифовальный станок Vimfun
Полное технологическое наследие от AVIC
Наследует всю научно-исследовательскую и производственную базу AVIC Jiangxi Optoelectronics — первоначального разработчика этой планетарной архитектуры шлифовки в Китае.
Плоскостность пластины, восстанавливаемая в полевых условиях
Все модели поставляются с пластинами для притирки, которые можно ремонтировать в полевых условиях. Отклонение плоскостности можно исправить на месте без возврата машины — минимизируя время простоя производства.
Независимое 4-осевое управление скоростью с частотным регулированием
Нижняя пластина, верхняя пластина, внешний шестерня и солнечное колесо — каждое независимо управляется частотным преобразователем для полного кинематического контроля притирки на всех материалах.
Измерение толщины в процессе обработки
Дополнительный мониторинг толщины в реальном времени с точностью ±2 мкм (13B/16B) или ±0,01 мм (22BF). Автоматическое управление с обратной связью останавливается при достижении целевой толщины — ручные проверки датчиками не требуются.
Полная цепочка поставок расходных материалов
Vimfun поставляет соответствующие аксессуары для притирки: пазы для заготовок, алмазные шлифовальные круги, шестерни и полировальные подушки — все подобрано в соответствии с точными спецификациями машины.
Разрушает монополию импортного оборудования
Высокоточные двухсторонние притирочные станки ранее доминировали SPEEDFAM (Япония) и немецкие системы. Vimfun обеспечивает эквивалентную точность при значительно более низкой общей стоимости, с местным обслуживанием и быстрой поставкой запасных частей.
Часто задаваемые вопросы
Какая разница между притиркой и полировкой на этих станках?
Притирка использует чугунную пластину со свободной абразивной суспензией (алмаз или SiC) для удаления материала и обеспечения плоскостности. Полировка использует более мягкую пластину (полиуретановую подушку или нержавеющую сталь) с тонкой алмазной суспензией для достижения окончательной чистоты поверхности (Ra). Обе операции выполняются на одном станке с заменой пластины примерно за 2 часа. При производстве полупроводниковых пластин притирка сначала обеспечивает плоскостность и TTV, а затем полировка до требуемого Ra для последующей CMP или эпитаксии.
Какой двухсторонний притирочный станок подходит для производства SiC пластин?
Для 4-дюймовых и 6-дюймовых SiC пластин наиболее распространенным выбором является 16B-5LY/P — стабильность подшипников класса P5 обеспечивает результаты TTV < 1 мкм. Для 8-дюймовых SiC или крупносерийных партий 6-дюймовых пластин рекомендуется 22BF-5LY/P. Для исследовательских лабораторий, обрабатывающих материал размером 2–4 дюйма, 13B-6LY/P предлагает самую низкую начальную стоимость при полной производительности по плоскостности. См. нашу страницу решений для обработки полупроводниковых пластин для получения подробных параметров процесса.
Какую плоскостность может обеспечить двухсторонний шлифовальный станок?
Модели 13B и 16B в стандартной комплектации обеспечивают плоскостность пластины ≤ 0,015 мм. При оптимизированных параметрах суспензии и держателя регулярно достигается плоскостность заготовки в пределах 1–2 мкм и TTV менее 1 мкм. Стандарты измерения плоскостности см. в ScienceDirect: Стандарты оптической плоскостности. Модель 22BF обеспечивает плоскостность ≤ 0,02 мм, что подходит для крупноформатной керамики и толстых компонентов.
Может ли станок обрабатывать сверхтонкие заготовки (0,1 мм)?
Да. Серия двухсторонних шлифовальных станков Vimfun успешно продемонстрировала обработку заготовок толщиной до 0,1 мм с использованием держателей с прорезями и соответствующей опорной поддержки. Сверхтонкая обработка требует конструкции прорезей держателя, соответствующей материалу заготовки — инженерная команда Vimfun предоставляет спецификации держателя как часть обзора заявки для заказов на тонкие заготовки.
Какие расходные материалы и аксессуары требуются?
Основные расходные материалы: (1) шлифовальная суспензия или полировальная паста, соответствующая вашему материалу, (2) держатели (пластины с прорезями) соответствующего размера для вашей заготовки, (3) алмазные шлифовальные круги для правки пластин и (4) полировальные круги для этапа полировки. Vimfun поставляет все это через нашу аксессуары для притирки программу, со спецификациями, соответствующими каждой модели, чтобы исключить проблемы совместимости.
Готовы выбрать двухсторонний шлифовальный станок?
Отправьте спецификации вашей заготовки и производственные цели — наши инженеры рассмотрят вашу заявку и порекомендуют подходящую модель и параметры процесса до того, как вы примете решение.
Email: daria@endlesswiresaw.com | Tel: +86 130 2773 8908