В индустрии производства полупроводниковых пластин долгосрочная ценность активов определяется гибкостью оборудования и точностью процессов. Печь для выращивания полупроводниковых кристаллов серии KX240MCZR разработана для адаптации к быстро меняющимся рыночным требованиям.KX240MCZR. Легко адаптируясь к различным размерам горячих зон, эта система гарантирует, что ваши инвестиции останутся на переднем крае технологий на протяжении всего их жизненного цикла.
1. Исключительная совместимость с несколькими спецификациями
KX240MCZR разработан для производства высококачественных монокристаллических кремниевых слитков различных стандартных отраслевых диаметров, поддерживая приложения от силовых устройств до производства передовых интегральных схем:
- Диаметры кристалловДиаметры кристаллов: Способность выращивать слитки диаметром 8″ (200 мм), 10″ (250 мм) и 12″ (300 мм)8″ (200 мм)10″ (250 мм)12″ (300 мм).
- Прецизионные подъемные системыПрецизионные подъемные системы: Оснащены скоростью подъема затравки от 0 до 508 мм/ч и скоростью подъема тигля от 0 до 127 мм/ч для тщательного контроля процесса.0-508 мм/ч0-127 мм/ч.
- Характеристики камерыТехнические характеристики камеры: Стандартный диаметр камеры печи составляет 1100 мм (43,3 дюйма) с возможностью установки конфигурации на 1200 мм (47,2 дюйма) для крупномасштабного производства.1100 мм (43,3 дюйма)1200 мм (47,2 дюйма).
2. Готовность к работе с магнитами и энергоэффективная конструкция
Для достижения сверхнизкого содержания кислорода и превосходной однородности удельного сопротивления, необходимых для пластин полупроводникового класса, KX240MCZR интегрирует передовые технологии управления. Для достижения сверхнизкого содержания кислорода и превосходной однородности удельного сопротивления, необходимых для пластин полупроводникового класса, KX240MCZR интегрирует передовые технологии управления:
- Технология касп-магнитаТехнология касп-магнита: Система готова к работе с магнитами, включая опциональный резистивный касп-магнит силой 1000 Гаусс для эффективного подавления конвекции расплава.резистивный касп-магнит силой 1000 Гаусс.
- Низкое энергопотреблениеНизкое энергопотребление: Оптимизированная система управления не только повышает качество кристаллов, но и значительно снижает энергопотребление при эксплуатации, оптимизируя общие производственные затраты.
3. Повышенная производительность благодаря технологии Xtramelt™
В сочетании с питателем Xtramelt™ KX240MCZR значительно увеличивает емкость загрузки за один прогон, поддерживая различные конфигурации тиглей для максимизации выхода.питатель Xtramelt™:
| Диаметр тигля | Высота тигля | Номинальный размер загрузки |
|---|---|---|
| 24,0 дюйма | 343 мм (13,5 дюйма) | 220 кг |
| 26,0 дюйма | 483 мм (19,0 дюйма) | 300 кг |
| 28,0 дюйма | 496 мм (19,5 дюйма) | 350 кг |
4. Модульная кастомизация и интеллектуальная интеграция
Оборудование предлагает ведущие в отрасли модульные решения, соответствующие требованиям конкретных объектов и стандартам Индустрии 4.0. Оборудование предлагает ведущие в отрасли модульные решения, соответствующие требованиям конкретных объектов и стандартам Индустрии 4.0:
- Пространственная адаптацияПространственная адаптация: Стандартная высота приемной камеры составляет 4000 мм, с возможностью модернизации на месте до 3500 мм и 3000 мм. Пространственная адаптация: Стандартная высота приемной камеры составляет 4000 мм, с возможностью модернизации на месте до 3500 мм и 3000 мм. Пространственная адаптация: Стандартная высота приемной камеры составляет 4000 мм, с возможностью модернизации на месте до 3500 мм и 3000 мм.4000 мм3500 мм3000 мм.
- Диаметр горловиныДиаметр горловины: Стандартный 350 мм (13,8 дюйма), с возможностью модернизации до 400 мм (15,7 дюйма). Диаметр горловины: Стандартный 350 мм (13,8 дюйма), с возможностью модернизации до 400 мм (15,7 дюйма).350 мм (13,8 дюйма)400 мм (15,7 дюйма).
- Цифровое управлениеЦифровое управление: Интегрированные коммуникации доступны через опциональную систему WINGS для комплексного мониторинга производстваСистема WINGS.
5. Комплексные решения для линий производства полупроводников
Производство высококачественного кремниевого слитка — это только первый шаг. Для преобразования этих слитков в высокоточные пластины мы предлагаем полный спектр оборудования для последующей обработки:
- Прецизионная резка: Используйте наши Многопильные станкиМногопильные станки для высокоскоростной резки с минимальными потерями 12-дюймовых слитков.
- Подготовка поверхности: Убедитесь, что каждая пластина соответствует требованиям к плоскостности и качеству поверхности в нанометровом масштабе с помощью наших специализированных Шлифовальные станкиШлифовальные станки.
Техническое описаниеТехническое описание: Приведенные выше характеристики основаны на технических данных KX240MCZR по состоянию на апрель 2023 года. Все характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления.
Для общего обзора основного оборудования см. нашу печь для выращивания кристаллов страницу, которая охватывает выбор оборудования для выращивания CZ, MCZ, германия, кремния и сапфира.
