В индустрии производства полупроводниковых пластин долгосрочная ценность активов определяется гибкостью оборудования и точностью процессов. Печь для выращивания полупроводниковых кристаллов серии KX240MCZR разработана для адаптации к быстро меняющимся рыночным требованиям.KX240MCZR. Легко адаптируясь к различным размерам горячих зон, эта система гарантирует, что ваши инвестиции останутся на переднем крае технологий на протяжении всего их жизненного цикла.
1. Исключительная совместимость с несколькими спецификациями
KX240MCZR разработан для производства высококачественных монокристаллических кремниевых слитков различных стандартных отраслевых диаметров, поддерживая приложения от силовых устройств до производства передовых интегральных схем:
- Диаметры кристалловДиаметры кристаллов: Способность выращивать слитки диаметром 8″ (200 мм), 10″ (250 мм) и 12″ (300 мм)8″ (200 мм)10″ (250 мм)12″ (300 мм).
- Прецизионные подъемные системыПрецизионные подъемные системы: Оснащены скоростью подъема затравки от 0 до 508 мм/ч и скоростью подъема тигля от 0 до 127 мм/ч для тщательного контроля процесса.0-508 мм/ч0-127 мм/ч.
- Характеристики камерыТехнические характеристики камеры: Стандартный диаметр камеры печи составляет 1100 мм (43,3 дюйма) с возможностью установки конфигурации на 1200 мм (47,2 дюйма) для крупномасштабного производства.1100 мм (43,3 дюйма)1200 мм (47,2 дюйма).
2. Готовность к работе с магнитами и энергоэффективная конструкция
Для достижения сверхнизкого содержания кислорода и превосходной однородности удельного сопротивления, необходимых для пластин полупроводникового класса, KX240MCZR интегрирует передовые технологии управления. Для достижения сверхнизкого содержания кислорода и превосходной однородности удельного сопротивления, необходимых для пластин полупроводникового класса, KX240MCZR интегрирует передовые технологии управления:
- Технология касп-магнитаТехнология касп-магнита: Система готова к работе с магнитами, включая опциональный резистивный касп-магнит силой 1000 Гаусс для эффективного подавления конвекции расплава.резистивный касп-магнит силой 1000 Гаусс.
- Низкое энергопотреблениеНизкое энергопотребление: Оптимизированная система управления не только повышает качество кристаллов, но и значительно снижает энергопотребление при эксплуатации, оптимизируя общие производственные затраты.
3. Повышенная производительность благодаря технологии Xtramelt™
В сочетании с питателем Xtramelt™ KX240MCZR значительно увеличивает емкость загрузки за один прогон, поддерживая различные конфигурации тиглей для максимизации выхода.питатель Xtramelt™:
| Диаметр тигля | Высота тигля | Номинальный размер загрузки |
|---|---|---|
| 24,0 дюйма | 343 мм (13,5 дюйма) | 220 кг |
| 26,0 дюйма | 483 мм (19,0 дюйма) | 300 кг |
| 28,0 дюйма | 496 мм (19,5 дюйма) | 350 кг |
4. Модульная кастомизация и интеллектуальная интеграция
Оборудование предлагает ведущие в отрасли модульные решения, соответствующие требованиям конкретных объектов и стандартам Индустрии 4.0. Оборудование предлагает ведущие в отрасли модульные решения, соответствующие требованиям конкретных объектов и стандартам Индустрии 4.0:
- Пространственная адаптацияПространственная адаптация: Стандартная высота приемной камеры составляет 4000 мм, с возможностью модернизации на месте до 3500 мм и 3000 мм. Пространственная адаптация: Стандартная высота приемной камеры составляет 4000 мм, с возможностью модернизации на месте до 3500 мм и 3000 мм. Пространственная адаптация: Стандартная высота приемной камеры составляет 4000 мм, с возможностью модернизации на месте до 3500 мм и 3000 мм.4000 мм3500 мм3000 мм.
- Диаметр горловиныДиаметр горловины: Стандартный 350 мм (13,8 дюйма), с возможностью модернизации до 400 мм (15,7 дюйма). Диаметр горловины: Стандартный 350 мм (13,8 дюйма), с возможностью модернизации до 400 мм (15,7 дюйма).350 мм (13,8 дюйма)400 мм (15,7 дюйма).
- Цифровое управлениеЦифровое управление: Интегрированные коммуникации доступны через опциональную систему WINGS для комплексного мониторинга производстваСистема WINGS.
5. Комплексные решения для линий производства полупроводников
Производство высококачественного кремниевого слитка — это только первый шаг. Для преобразования этих слитков в высокоточные пластины мы предлагаем полный спектр оборудования для последующей обработки:
- Прецизионная резка: Используйте наши Многопильные станкиМногопильные станки для высокоскоростной резки с минимальными потерями 12-дюймовых слитков.
- Подготовка поверхности: Убедитесь, что каждая пластина соответствует требованиям к плоскостности и качеству поверхности в нанометровом масштабе с помощью наших специализированных Шлифовальные станкиШлифовальные станки.
Техническое описаниеТехническое описание: Приведенные выше характеристики основаны на технических данных KX240MCZR по состоянию на апрель 2023 года. Все характеристики могут быть изменены без предварительного уведомления.
