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フル装備ポートフォリオ
プロセス段階別結晶成長・ウェーハ製造装置
Vimfunは、単結晶インゴット成長から鏡面研磨ウェーハまで、半導体ウェーハ製造に必要な全設備チェーンを製造しています。当社のカタログには、結晶成長炉(CCz / キロポウロス法)、高スループットウェーハスライス用マルチワイヤダイヤモンドソー、サブミクロン平面度を実現する両面ラッピング・研磨機、および消耗品一式(ダイヤモンドワイヤループ)が含まれています。.
Two-axis single-workstation inverted cutting. 660 × 160 × 150 mm blank capacity, 0.3–3 mm slice range and maximum 2,200 m/min reciprocating wire speed.