CCz-1600
Máy kéo tinh thể Czochralski nạp liên tục cho silicon cấp bán dẫn
CCz-1600 là một máy kéo tinh thể Czochralski nạp liên tục được thiết kế để sản xuất thỏi silicon cấp bán dẫn. Hệ thống nạp liên tục tự động và pha tạp rắn vòng kín cho phép kéo tinh thể dài hơn, kiểm soát điện trở suất chặt chẽ hơn và giảm chi phí trên mỗi kilogam — mà không cần tăng kích thước lò.
Bốn lý do để lựa chọn sạc liên tục.
Mọi lợi thế dưới đây đều đã được chứng minh trong sản xuất trên nền tảng CCz-1600 — được hỗ trợ bởi dữ liệu xác nhận quy trình nội bộ.
Tự động sạc liên tục
Hệ thống nạp liệu liên tục tự động với tốc độ nạp liệu điều chỉnh tuyến tính. Độ biến động tốc độ nạp liệu theo thời gian thực được giữ dưới ±10g/phút — đủ ổn định để duy trì thể tích nóng chảy và điều kiện nhiệt độ nhất quán trong toàn bộ quá trình nuôi tinh thể.
Hệ số pha tạp hiệu quả cao
Hệ thống pha tạp rắn liên tục tự động với điều khiển vòng kín. Chất pha tạp được nạp động theo tỷ lệ với lượng silicon nạp vào. Hệ số pha tạp hiệu quả cao gấp 2–3 lần so với pha tạp pha khí — có nghĩa là ít lãng phí chất pha tạp hơn và kiểm soát điện trở suất mạnh hơn.
Kiểm soát Điện trở suất Chính xác
Cho phép phân bố điện trở suất hẹp trên toàn bộ chiều dài tinh thể. Cả độ đồng nhất điện trở suất theo bán kính và theo trục đều được duy trì bằng cách giữ nồng độ tạp chất ổn định thông qua việc cấp tỷ lệ liên tục — không chỉ ở đầu hạt giống.
Năng suất cao hơn, Cùng một Lò
Năng suất tăng mà không cần mở rộng kích thước nồi nấu, thân lò hoặc kích thước vùng nóng. Việc cấp liên tục kéo dài quá trình tinh thể từ cùng một buồng — hiệu quả sản xuất cao hơn và chi phí trên mỗi kg tinh thể sản xuất thấp hơn.
Công thức đã được xác nhận.
Dữ liệu sản xuất thực tế.
CCz-1600 được giao kèm theo các công thức tăng trưởng tinh thể được phát triển và xác nhận nội bộ. Những kết quả này đến từ quá trình kéo tinh thể của chúng tôi — không phải mô phỏng.
Tinh thể loại P pha tạp Ga 10 inch
Kiểm soát điện trở suất theo trục toàn chiều dài trên thỏi loại P pha tạp gallium 10 inch. Việc pha tạp liên tục duy trì độ đồng nhất chặt chẽ từ đầu đến đuôi.
RRG theo bán kính: ＜ 6.0%
Tinh thể loại N pha tạp P 8 inch Siêu thấp Ω
Tinh thể loại N pha tạp phốt pho, đường kính 8 inch, điện trở suất siêu thấp — lĩnh vực mà phương pháp pha tạp pha khí không thể cạnh tranh.
RRG xuyên tâm: ＜ 6%
Thông số kỹ thuật
| # | Tham số | Thông số |
|---|---|---|
| 01 | Kích thước tổng thể (D × R × C) | 2000 × 2300 × 10800 mm |
| 02 | Dung lượng tải | 1000 kg (có thể tùy chỉnh) |
| 03 | Hệ thống pha tạp | Pha tạp rắn liên tục trực tuyến có độ chính xác cao, độ chính xác điều khiển ±0.01g |
| 04 | Đường kính trong buồng chính | Φ1400 mm |
| 05 | Đường kính trong buồng kéo | Φ350 mm |
| 06 | Tương thích vùng nóng | 24–34″ RCZ + 32–34″ CCz; tinh thể đường kính lên đến 10″ |
| 07 | Phương pháp gia nhiệt | Gia nhiệt bằng điện trở, nguồn điện DC, Pmax = 150:50 kW |
| 08 | Phương pháp nạp liệu | Bộ cấp liệu liên tục bên ngoài gắn bên hông (1200 kg) + bổ sung silicon động trực tuyến + nạp liệu trước vào nồi nung |
| 09 | Dải tốc độ nạp liệu | 20 – 600 g/phút, điều chỉnh tuyến tính |
| 10 | Độ chính xác điều khiển tốc độ nạp liệu | ≤ 500 g/giờ |
| 11 | Dao động tốc độ nạp liệu thời gian thực | ＜ ±10 g/phút |
Kinh tế học của sạc liên tục.
Sạc liên tục không chỉ thay đổi cách bạn nuôi tinh thể — nó thay đổi kinh tế sản xuất. Đây là ý nghĩa của điều đó đối với hoạt động của bạn.
Nhiều Tinh thể hơn, Cùng Diện tích
Kéo dài thời gian chạy tinh thể từ buồng Φ1400mm tương tự. Không cần đầu tư vào lò nung lớn hơn, vùng nóng lớn hơn hoặc sàn gia cố — năng suất tăng theo thời gian chạy, không phải kích thước thiết bị.
Chi phí mỗi Kilogram Thấp hơn
Loại bỏ chu kỳ làm nguội, nạp lại và gia nhiệt lại giữa các lần kéo. Hoạt động liên tục có nghĩa là nhiều giờ lò nung hiệu quả hơn mỗi tháng, trực tiếp giảm chi phí mỗi kilogam tinh thể được sản xuất.
Thông số chặt chẽ hơn, Năng suất cao hơn
Pha tạp liên tục duy trì tính đồng nhất về điện trở suất trên toàn bộ thỏi — không chỉ phần đầu tiên. Nhiều tinh thể có thể sử dụng được mỗi lần chạy có nghĩa là ít tấm wafer bị loại bỏ hơn và năng suất hạ nguồn cao hơn.
Chế độ Kép RCZ + CCz
Cùng một lò nung chạy cả CZ nạp lại thông thường và sạc liên tục. Bắt đầu với các công thức RCZ mà bạn đã biết, sau đó chuyển sang chế độ liên tục theo tốc độ của riêng bạn.
Bao gồm các Công thức Đã được Chứng minh
Giao kèm các công thức nuôi tinh thể đã được xác nhận cho tinh thể loại P pha tạp Ga và loại N pha tạp P — bao gồm cả thông số điện trở suất cực thấp. Bắt đầu từ một quy trình đã biết là tốt.
Giao hàng Dịch vụ Đầy đủ
Khảo sát địa điểm, lắp đặt, vận hành thử, đủ điều kiện tinh thể đầu tiên và cung cấp vật tư tiêu hao dài hạn — tất cả từ một nhà cung cấp. Chúng tôi ở lại cho đến khi lò nung sản xuất theo thông số kỹ thuật.
Các câu hỏi phổ biến về CCz-1600.
Từ thỏi đến wafer đánh bóng.
Sau khi tinh thể phát triển, nó sẽ trải qua các công đoạn cắt tỉa, cắt lát, mài và đánh bóng. Chúng tôi cung cấp toàn bộ dây chuyền hạ lưu — một nhà cung cấp từ máy kéo tinh thể đến wafer thành phẩm.
Sẵn sàng thảo luận
về việc kéo tinh thể CZ liên tục?
Chia sẻ thông số kỹ thuật tinh thể mục tiêu, khối lượng sản xuất và thời gian của bạn. Chúng tôi sẽ phản hồi trong vòng 24 giờ với đánh giá sự phù hợp về kỹ thuật và các bước tiếp theo.