研磨・研削シリーズ

両面ラップ盤 シリーズ
サファイア、SiC、先端材料向け3モデル

Vimfunの 両面ラップ盤 シリーズは、サファイアウェーハ、炭化ケイ素(SiC)、光学フィルター、ガラス、先端セラミックスに対し、≤0.015 mmの精密平面度とサブナノメートルの表面粗さを実現します。3つのモデル — 13B, 16Bそして 22BF — は、Φ210 mmからΦ480 mmまでのワークピース径に対応します。かつてはBiel Crystal、Foxconn、Lens Technology、BYDの認定サプライヤーでした。.

≤0.015 mm
プレート平面度
サブnm
表面粗さ Ra
35+
特許・著作権
Φ480 mm
最大ワークピース容量

両面ラップ盤 Vimfunシリーズの各機種は、カウンター回転する上下プレートを備えた遊星歯車ドライブを採用しており、両ワークピース表面での同時かつ均一な材料除去を保証します。このシリーズは、ウェーハR&Dラボ向けのコンパクトな6キャリアシステム、8インチ半導体ウェーハ向けのミドルサイズ生産システム、そして最大9000Nの加工力で大型セラミックスや厚い工業部品向けのヘビーデューティモデルをカバーしています。全モデルがラビング(ダクタイル鋳鉄スロット付きプレート)とポリッシング(SUS 410ステンレス鋼プレート)の両方をサポートし、クローズドループ精密制御のためのオプションのインプロセス厚さ測定が含まれています。.

両面ラビングマシンを選択 — 3モデル

コンパクト · 6キャリア
製品写真に置き換える
13B-6LY/P
コンパクト両面ラビングマシン — 最大Φ210 mm

サファイアウェーハ、光学フィルター、SiC基板、ガラス(最大Φ210 mm)用の6キャリア遊星システム。コンパクトなフットプリント、≤0.015 mmの平面度、±10 Nの圧力制御。.

  • 最大ワークピース径: Φ210 mm
  • キャリア: 6個
  • プレート平面度: ≤0.015 mm
  • 圧力制御: ±10 N
ミドルサイズ · P5ベアリング
製品写真に置き換える
16B-5LY/P
ミドルサイズ両面ポリッシングマシン — 最大Φ390 mm

P5グレードのクロスドローラーベアリングを備えた5キャリアシステムで、大型ウェーハやフィルター(最大Φ390 mm)に対応。8インチSiCおよびサファイア生産ラインで最も人気のあるモデルです。.

  • 最大ワークピース径: Φ390 mm
  • ベアリング: P5 クロスローラ
  • プレート平面度: ≤0.015 mm
  • 厚み精度: ±2 μm (オプション)
ヘビーデューティ · 9000 N
製品写真に置き換える
22BF-5LY/P
ヘビーデューティ両面ラビングマシン — 最大Φ480 mm

最大のVimfunラビングシステム。5キャリア、9000 Nの力(12000 Nまで拡張可能)、合計36 kWの電力。大型セラミックス、厚い部品、12インチウェーハ生産用。.

  • 最大加工径: Φ480 mm
  • 最大加工力: 9000 N
  • プレート平面度: ≤0.02 mm
  • 総出力: 36 kW

精密ラップ盤 仕様 — 完全比較

3つの両面ラップ盤モデルを並べて比較し、ワークサイズ、精度、生産要件に合った最適なモデルを選択してください。.

パラメータ 13B-6LY/P
コンパクト
16B-5LY/P
最も人気
22BF-5LY/P
ヘビーデューティー
最大ワーク径 Φ210 mm Φ390 mm Φ480 mm
最大加工厚 45 mm
プレート径 (外径) Φ933 mm Φ1154 mm Φ1492 mm
キャリア数 6個 5個 5個
プレート平面度 ≤0.015 mm ≤0.015 mm ≤0.02 mm
下部プレート振れ ≤0.04 mm ≤0.04 mm ≤0.03 mm
加工力範囲 120 ~ 3500 N 150 ~ 9000 N
(例: 12000 N)
圧力制御精度 ±10 N ±10 N ±20 N
メインベアリングタイプ 高精度CRB P5グレードCRB 高精度CRB
厚さ測定 (オプション) ±2 μm ±2 μm ±0.01 mm
総合力 18 kW 20 kW 36 kW
マシン重量 約4300 kg 約4800 kg 約9000 kg
詳細ページ 13Bを表示 → 16Bを表示 → 22BFを表示 →

CRB = クロスローラベアリング  ·  opt. = オプション追加  ·  ★半導体および光学用途で最も人気のあるモデル

当社の両面ラップ盤で加工できる材料は何ですか?

全ての3モデルは、以下の硬質脆性材料の精密両面ラップおよび研磨をサポートしています。各材料をクリックすると、推奨機械モデルおよびプロセスパラメータを含む完全なソリューションが表示されます。.

Vimfun両面ラッピング・研磨機を選ぶ理由

🏭
AVIC Optics技術を継承

Vimfunは、旧江西AVICオプティクスから、17件の実用新案・意匠特許、14件のソフトウェア著作権、4件の発明特許を含む、すべての技術的専門知識を受け継いでいます。当社の両面ラッピング機の技術基盤は、数十年にわたる精密研削の研究開発によって洗練されてきました。.

トップティアメーカーで実績あり

かつてはBiel Crystal、Foxconn、Lens Technology、BYDの認定サプライヤーでした。当社のラッピング・研磨機は、中国の半導体および3C業界における最も要求の厳しい大量生産環境で検証されています。.

🔧
自社製精密プレート製造

Vimfunは、CNC両面研削により、自社でQT500-7ダクタイル鋳鉄ラッピングプレートを製造しています。プレートは、ランアウト≤0.04 mm、平坦度≤0.015 mmで出荷され、すぐに使用できる状態です。初期慣らし運転は不要です。.

📦
完全なソリューション — 装置&消耗品

機械以外にも、Vimfunは正確なモデル仕様に合わせたスロット付きラップ盤、ダイヤモンドコンディショニングホイール、内輪ギア、サンギア、研磨パッドを提供しています。装置とすべての消耗品をワンストップで供給。詳細はこちらをご覧ください。 ラップアクセサリーページ.

よくある質問 — 両面ラップ盤の選定

Q: どの両面ラップ盤モデルを選べばよいですか?13B、16B、または22BFですか?

主な選定基準はワークピースの直径です。コンパクトな生産ライン、研究開発ラボ、または小径ウェーハの場合は、13B-6LY/P(最大Φ210 mm)を選択してください。6インチまたは8インチの半導体ウェーハや大型光学フィルターの場合は、16B-5LY/P(最大Φ390 mm)を選択してください。これは最も汎用性が高く、最も広く採用されているモデルです。ワークピースサイズがΦ390 mmを超える場合、厚さが25 mmを超える場合、または加工力要件が3500 Nを超える大型セラミックスや厚物部品の場合は、22BF-5LY/P(最大Φ480 mm)を選択してください。.

Q: これらのラップ盤はサファイアに対してどの程度の表面粗さ(Ra)を達成できますか?

適切なスラリー選定と研磨パッドの状態下で、3つのモデルすべてがサファイアに対してサブナノメートルRaを達成します。プレート平面度≤0.015 mmおよびTTV 1 μm未満と組み合わせることで、エピ準備完了および光学グレードのウェーハ仕様を満たします。サファイア表面処理パラメータに関する独立した研究については、こちらをご覧ください。 ScienceDirect: サファイアウェーハ加工.

Q: これらの機械はラップ加工と研磨加工の両方を行うことができますか?

はい。すべてのモデルには、ラップ加工用のダクタイル鋳鉄製スロット付きプレートと、研磨用のSUS 410ステンレス鋼製プレートの2つの交換可能なプレートセットが付属しています。ラップ加工モードと研磨加工モードの切り替えには、機械に付属の標準工具で約2時間かかります。.

Q: 工程内厚さ測定システムは標準装備ですか、それともオプションですか?

厚さ測定システムは、3つのモデルすべてでオプションのアドオンです。13Bおよび16Bは、0〜25 mmの範囲で±2 μmの精度を達成します。22BFは、±0.01 mmの精度でより高精度のオプションを提供します。これらのシステムにより、リアルタイムのクローズドループ厚さ制御が可能になり、手動測定の中断なしに目標寸法で機械を停止できます。.

Q: Vimfunの両面ラップ盤は、日本やドイツ製の輸入システムと比較してどうですか?

Vimfunの機械は、日本やドイツからの同等の輸入製品よりも大幅に低コストで、同等の精度仕様(平面度≤0.015 mm、サブナノメートルRa)を提供します。AVIC Opticsの技術的遺産に裏打ちされ、Biel CrystalおよびFoxconnで検証されており、国内の中国価格で、完全なローカルサービス、スペアパーツサポート、および技術コミッショニングが含まれています。両面ラップ技術に関する独立した技術概要については、こちらをご覧ください。 MDPI: 両面ラップ研究.

Q: What is the delivery and installation lead time?

標準リードタイムは、3つのモデルすべてで注文確定後60〜90日です。オンサイト設置、機械コミッショニング、オペレータートレーニングは、すべての購入に含まれています。22BF-5LY/Pには強化コンクリート基礎が必要です。Vimfunは、注文前の技術パッケージの一部として、完全な基礎図面と設置仕様を提供します。.

両面ラップ盤を見つける

材料、ワークピースの直径、平面度要件をお知らせください。エンジニアが適切なモデルをお勧めし、24時間以内に詳細な提案書をお送りします。.

メール: daria@endlesswiresaw.com  | 電話: +86 130 2773 8908

トップに戻る
Vimfunチームへのお問い合わせ
お見積もり、サポート、パートナーシップのご相談など、お気軽にお問い合わせください。ぜひご連絡ください。