Machine de rodage double face Série
3 modèles pour saphir, SiC et matériaux avancés
Vimfun machine de rodage double face la série offre une planéité de précision ≤0,015 mm et une rugosité de surface sub-nanométrique pour les plaquettes de saphir, le carbure de silicium (SiC), les filtres optiques, le verre et les céramiques avancées. Trois modèles — 13B, 16Bet 22BF — couvrent des diamètres de pièce de Φ210 mm jusqu'à Φ480 mm. Ancien fournisseur qualifié pour Biel Crystal, Foxconn, Lens Technology et BYD.
Chaque machine de rodage double face dans la série Vimfun utilise un entraînement à engrenages planétaires avec des plateaux supérieur et inférieur contre-rotatifs, assurant un enlèvement de matière simultané et uniforme sur les deux surfaces de la pièce. La série comprend des systèmes compacts à 6 porte-pièces pour les laboratoires de R&D sur wafers, des systèmes de production de taille moyenne pour les wafers semi-conducteurs de 8 pouces, et des modèles robustes pour les grandes céramiques et les composants industriels épais jusqu'à 9000 N de force de traitement. Tous les modèles prennent en charge le rodage (plateaux rainurés en fonte ductile) et le polissage (plateaux en acier inoxydable SUS 410), et incluent une mesure de l'épaisseur en cours de processus en option pour un contrôle de précision en boucle fermée.
Choisissez votre machine de rodage double face — 3 modèles
Système planétaire à 6 porte-pièces pour wafers de saphir, filtres optiques, substrats SiC et verre jusqu'à Φ210 mm. Encombrement réduit, planéité ≤0,015 mm, contrôle de pression ±10 N.
- Diamètre max de la pièce : Φ210 mm
- Porte-pièces : 6 pièces
- Planéité de la plaque : ≤0,015 mm
- Contrôle de la pression : ±10 N
Système à 5 porte-pièces avec roulement à rouleaux croisés de grade P5 pour les wafers et filtres plus grands jusqu'à Φ390 mm. Modèle le plus populaire pour les lignes de production de SiC et de saphir de 8 pouces.
- Diamètre max de la pièce : Φ390 mm
- Roulement : Roulement croisé P5
- Planéité de la plaque : ≤0,015 mm
- Précision d'épaisseur : ±2 μm (opt.)
Le plus grand système de rodage Vimfun. 5 porte-pièces, 9000 N de force (extensible à 12000 N), puissance totale de 36 kW. Pour les grandes céramiques, les composants épais et la production de wafers de 12 pouces.
- Diamètre max de la pièce : Φ480 mm
- Force de traitement max : 9000 N
- Planéité de la plaque : ≤0,02 mm
- Puissance totale : 36 kW
Spécifications de la machine de rodage de précision — Comparaison complète
Comparez les 3 modèles de machines de rodage double face côte à côte pour sélectionner celui qui convient le mieux à la taille de votre pièce, à la précision et aux exigences de production.
| Paramètre | 13B-6LY/P Compact |
16B-5LY/P Le plus populaire ★ |
22BF-5LY/P Usage intensif |
|---|---|---|---|
| Diamètre maximal de la pièce | Φ210 mm | Φ390 mm | Φ480 mm |
| Épaisseur max de la pièce | — | — | 45 mm |
| Diamètre de plateau (OD) | Φ933 mm | Φ1154 mm | Φ1492 mm |
| Nombre de porte-satellites | 6 pièces | 5 pièces | 5 pièces |
| Planéité de la plaque | ≤0,015 mm | ≤0,015 mm | ≤0,02 mm |
| Battement de la plaque inférieure | ≤0,04 mm | ≤0,04 mm | ≤0,03 mm |
| Plage de force de traitement | 120 ~ 3500 N | — | 150 ~ 9000 N (exp. 12000 N) |
| Précision du contrôle de pression | ±10 N | ±10 N | ±20 N |
| Type de roulement principal | CRB de haute précision | CRB de grade P5 | CRB de haute précision |
| Mesure d'épaisseur (opt.) | ±2 μm | ±2 μm | ±0,01 mm |
| Puissance totale | 18 kW | 20 kW | 36 kW |
| Poids de la machine | ~4300 kg | ~4800 kg | ~9000 kg |
| Page détaillée | Voir 13B → | Voir 16B → | Voir 22BF → |
CRB = Roulement à rouleaux croisés · opt. = accessoire optionnel · ★ Modèle le plus populaire pour les applications semi-conductrices et optiques
Quels matériaux nos machines de rodage double face peuvent-elles traiter ?
Les 3 modèles prennent en charge le rodage et le polissage de précision double face des matériaux durs et cassants suivants. Cliquez sur chaque matériau pour voir la solution complète, y compris le modèle de machine et les paramètres de processus recommandés.
Substrats de LED, plaques de qualité optique et saphir laser. Dureté Mohs 9. Ra atteignable en sub-nm. TTV <1 μm.
Solution de rodage de saphir →Substrats de dispositifs de puissance SiC pour VE et énergies renouvelables. Capacité 8 pouces sur 16B. Contrôle TTV à <1 μm.
Solution de rectification SiC →Filtres passe-bande, filtres interférentiels et substrats à revêtement AR nécessitant une planéité ≤0,015 mm et un parallélisme de précision.
Solution de filtres optiques →Plaques de verre pour écrans, borosilicaté et plaquettes de verre pour boîtiers de semi-conducteurs. Pièces de travail ultra-minces de 0,1 mm prises en charge.
Solution de plaquettes de verre →Substrats en alumine, nitrure de silicium, zircone et AlN. Le 22BF traite les composants céramiques de grand format et épais jusqu'à Φ480 mm.
Solution de rectification de céramique →Cristaux de quartz pour le contrôle de fréquence, verre bleu pour les composants optiques. Contrôle d'épaisseur en boucle fermée en option de ±2 μm.
Solution de rodage de cristaux →Pourquoi choisir les machines de rodage et polissage double face Vimfun
Vimfun hérite de toute l'expertise technique de l'ancienne Jiangxi AVIC Optics — y compris 17 brevets de modèle d'utilité et de conception, 14 droits d'auteur logiciels et 4 brevets d'invention. La base technologique de nos machines de rodage double face a été affinée au fil de décennies de R&D en rectification de précision.
Précédemment fournisseur qualifié pour Biel Crystal, Foxconn, Lens Technology et BYD. Nos machines de rodage et de polissage ont été validées dans les environnements de production à haut volume les plus exigeants des industries des semi-conducteurs et 3C en Chine.
Vimfun fabrique ses propres plaques de rodage en fonte ductile QT500-7 à l'aide d'une rectification double face CNC. Les plaques sont livrées avec un faux-rond ≤0,04 mm et une planéité ≤0,015 mm — vérifiées et prêtes à l'emploi, sans cycle de rodage préalable requis.
Au-delà des machines, Vimfun fournit des plateaux de rodage rainurés, des roues de conditionnement diamantées, des engrenages d'anneau internes, des engrenages solaires et des tampons de polissage correspondant aux spécifications exactes du modèle. Un seul fournisseur pour l'équipement et tous les consommables en cours. Voir notre page d'accessoires de rodage.
Foire aux questions — Sélection de machines de rodage double face
Le principal facteur de sélection est le diamètre de la pièce. Choisissez le 13B-6LY/P (Φ210 mm max) pour les lignes de production compactes, les laboratoires de R&D ou les formats de plaquettes plus petits. Choisissez le 16B-5LY/P (Φ390 mm max) pour les plaquettes de semi-conducteurs de 6 ou 8 pouces et les filtres optiques plus grands — c'est le modèle le plus polyvalent et le plus largement déployé. Choisissez le 22BF-5LY/P (Φ480 mm max) lorsque la taille de la pièce dépasse Φ390 mm, l'épaisseur dépasse 25 mm, ou que les exigences de force de traitement dépassent 3500 N pour les grandes céramiques et les composants épais.
Avec une sélection appropriée de la boue et des conditions de tampon de polissage, les trois modèles atteignent une Ra sub-nanométrique sur le saphir. Combiné à une planéité de plateau ≤0,015 mm et un TTV inférieur à 1 μm, cela répond aux spécifications des plaquettes prêtes pour l'épitaxie et de qualité optique. Pour des recherches indépendantes sur les paramètres de préparation de surface du saphir, voir ScienceDirect : Traitement des plaquettes de saphir.
Oui. Tous les modèles sont livrés avec deux jeux de plateaux interchangeables : un plateau rainuré en fonte ductile pour les opérations de rodage, et un plateau en acier inoxydable SUS 410 pour le polissage. Le passage entre les modes de rodage et de polissage prend environ 2 heures avec les outils standard inclus avec la machine.
Le système de mesure d'épaisseur est un ajout optionnel pour les trois modèles. Les 13B et 16B atteignent une précision de ±2 μm sur une plage de 0 à 25 mm. Le 22BF offre une option de plus haute précision à une précision de ±0,01 mm. Ces systèmes permettent un contrôle d'épaisseur en boucle fermée en temps réel, arrêtant la machine à la dimension cible sans interruption de mesure manuelle.
Les machines Vimfun offrent des spécifications de précision comparables — planéité ≤0,015 mm, Ra sub-nanométrique — à un coût nettement inférieur à celui des importations équivalentes du Japon ou d'Allemagne. Soutenues par l'héritage technologique d'AVIC Optics et validées chez Biel Crystal et Foxconn, elles offrent des prix chinois nationaux avec un service local complet, un support de pièces de rechange et une mise en service technique inclus. Pour un aperçu technique indépendant de la technologie de rodage double face, voir MDPI : Recherche sur le rodage double face.
Le délai de livraison standard est de 60 à 90 jours à compter de la confirmation de la commande pour les trois modèles. L'installation sur site, la mise en service de la machine et la formation des opérateurs sont incluses dans chaque achat. Le 22BF-5LY/P nécessite une fondation en béton armé — Vimfun fournit des plans de fondation complets et des spécifications d'installation dans le cadre du package technique de pré-commande.
Trouvez votre machine de rodage double face
Indiquez-nous votre matériau, le diamètre de la pièce et l'exigence de planéité — nos ingénieurs vous recommanderont le bon modèle et vous enverront une proposition détaillée dans les 24 heures.
E-mail : daria@endlesswiresaw.com | Tél : +86 130 2773 8908