Dans l'industrie de la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, la valeur des actifs à long terme est définie par la flexibilité des équipements et la précision des processus. Le four de croissance de cristaux de semi-conducteurs de la série KX240MCZR est conçu pour s'adapter aux demandes du marché en évolution rapide.KX240MCZR. En accueillant facilement différentes tailles de zones chaudes, ce système garantit que votre investissement reste à la pointe de la technologie tout au long de son cycle de vie.
1. Compatibilité exceptionnelle multi-spécifications
Le KX240MCZR est conçu pour produire des lingots de silicium monocristallin de haute qualité dans une gamme de diamètres standard de l'industrie, prenant en charge les applications allant des dispositifs de puissance à la fabrication de circuits intégrés avancés :
- Diamètres de cristauxDiamètres de cristaux : Capable de faire croître des lingots de diamètres de 8″ (200 mm), 10″ (250 mm) et 12″ (300 mm)8″ (200 mm)10″ (250 mm)12″ (300 mm).
- Systèmes de levage de précisionSystèmes de levage de précision : Dispose d'un taux de levage de la graine de 0 à 508 mm/h et d'un taux de levage du creuset de 0 à 127 mm/h pour un contrôle méticuleux du processus.0-508 mm/h0-127 mm/h.
- Spécifications de la chambreSpécifications de la chambre : Diamètre standard de la chambre du four de 1100 mm (43,3 pouces) avec une configuration optionnelle de 1200 mm (47,2 pouces) pour une production à plus grande échelle1100 mm (43,3 pouces)1200 mm (47,2 pouces).
2. Conception prête pour les aimants et économe en énergie
Pour atteindre la teneur en oxygène ultra-faible et l'uniformité de résistivité supérieure requises pour les plaquettes de qualité semi-conducteur, le KX240MCZR intègre des technologies de contrôle avancées :
- Technologie d'aimant à cuspideTechnologie d'aimant à cuspide : Le système est prêt pour les aimants, avec des options incluant un aimant à cuspide résistif de 1 000 gauss pour supprimer efficacement la convection du bain en fusionAimant à cuspide résistif de 1 000 gauss.
- Faible consommation d'énergieFaible consommation d'énergie : Un système de contrôle optimisé améliore non seulement la qualité des cristaux, mais réduit également considérablement la consommation d'énergie opérationnelle, optimisant ainsi les coûts de production globaux.
3. Débit amélioré grâce à la technologie Xtramelt™
En conjonction avec l'alimentateur Xtramelt™, le KX240MCZR augmente considérablement la capacité de charge par cycle, prenant en charge diverses configurations de creusets pour maximiser le rendementAlimentateur Xtramelt™:
| Diamètre du creuset | Hauteur du creuset | Taille nominale de la charge |
|---|---|---|
| 24,0 pouces | 343 mm (13,5 pouces) | 220 kg |
| 26,0 pouces | 483 mm (19,0 pouces) | 300 kg |
| 28,0 pouces | 496 mm (19,5 pouces) | 350 kg |
4. Personnalisation modulaire et intégration intelligente
L'équipement offre des options modulaires de pointe pour s'adapter aux exigences spécifiques de l'installation et aux normes de l'Industrie 4.0. L'équipement offre des options modulaires de pointe pour s'adapter aux exigences spécifiques de l'installation et aux normes de l'Industrie 4.0 :
- Adaptation spatialeAdaptation spatiale : La hauteur standard de la chambre de réception est de 4000 mm, avec des mises à niveau sur site optionnelles disponibles pour les hauteurs de 3500 mm et 3000 mm. Adaptation spatiale : La hauteur standard de la chambre de réception est de 4000 mm, avec des mises à niveau sur site optionnelles disponibles pour les hauteurs de 3500 mm et 3000 mm. Adaptation spatiale : La hauteur standard de la chambre de réception est de 4000 mm, avec des mises à niveau sur site optionnelles disponibles pour les hauteurs de 3500 mm et 3000 mm.4000 mm3500 mm3000 mm.
- Diamètre de la gorgeDiamètre de la gorge : Standard 350 mm (13,8 pouces), avec une mise à niveau optionnelle de 400 mm (15,7 pouces) disponibleDiamètre de la gorge : Standard 350 mm (13,8 pouces), avec une mise à niveau optionnelle de 400 mm (15,7 pouces) disponible350 mm (13,8 pouces)400 mm (15,7 pouces).
- Gestion numériqueGestion numérique : Des communications intégrées sont disponibles via le système WINGS en option pour une surveillance complète de la productionSystème WINGS.
5. Solutions complètes pour les lignes de production de semi-conducteurs
La production d'un lingot de silicium de haute qualité n'est que la première étape. Pour transformer ces lingots en plaquettes de haute précision, nous fournissons une gamme complète d'équipements de traitement en aval :
- Découpe de précision: Utilisez notre Machines à scier multifilairesMachines à scier multifilaires pour la découpe de lingots de 12 pouces à haute vitesse et à faible perte.
- Préparation de surface: Assurez-vous que chaque plaquette répond aux exigences de planéité et de qualité de surface à l'échelle nanométrique grâce à nos machines spécialisées RectifieusesRectifieuses.
Déclaration techniqueDéclaration technique : Les spécifications ci-dessus sont basées sur les données techniques du KX240MCZR datant d'avril 2023. Toutes les spécifications sont sujettes à modification sans préavis.
