Vimfun SOMI2-600S · 二軸倒立切断
超薄型ウェーハスライシングマシン SOMI2-600S
長尺ブランクおよび高速往復ワイヤ操作に対応した超薄ウェーハ切断機。二軸、シングルステーションの倒立配置により、660 × 160 × 150 mm のワークピースエンベロープ内で並列スライスをサポートします。.
SOMI2-600S はウェーハ準備のどこに位置しますか？
本機は、準備されたインゴット処理と下流の仕上げの間のスライス段階に位置します。入荷するブランクは、取り付けおよびサポートを考慮した後の使用可能なワークピースエンベロープに適合する必要があります。出力はカット直後のスライスであり、仕上げ基板の要件を満たすには、研削、ラップ、または研磨が必要になる場合があります。.
記載の 0.3 ～ 3 mm の範囲は、スライス厚であり、厚さ公差、総厚さ変動、または普遍的な仕上げウェーハ仕様ではありません。セットアップを選択する前に、カット直後の目標厚さと仕上げ許容量について合意してください。 研削およびラップ装置の概要 次の装置段階をカバーします。.
長尺ブランクまたは記載の高いワイヤ速度能力がプロセスレビューに重要な場合は、このモデルから始めてください。430 mm 未満のブランクについては、比較してください。 SOMI-430 より大きなエンベロープに移行する前に。どちらの機械の最大速度も、生産送り速度または 1 時間あたりの許容出力を示すものではありません。.
倒立ワイヤウェブはどのように長尺ブランクを切断しますか？
倒立切断では、支持されたワークピースをワイヤウェブに上向きに供給します。並列ワイヤスパンは切断中に複数のスライスを作成し、ワイヤはガイドシステムを介して往復運動します。ソースは、他の SOM モデルのデュアルワークステーション構成ではなく、2 つの軸と 1 つのワークステーションを特定しています。.
コンセプト図のみです。フィード方向を比較しており、実際の機械のワイヤルーティング、寸法、または制御シーケンスを示していません。.
グルーブ付きローラーがワイヤ間隔を設定します。公称スライス厚は、選択された溝ピッチと有効切断カーフに依存します。ワイヤ径だけでは完全なカーフ仕様ではありません。ローラーピッチ、ワイヤ選択、および材料条件は、要求された厚さについて一緒にレビューする必要があります。.
ソースは、シングルプレート構成でより小さな中心距離を説明しています。これは、切断が倒立しているためスライス間隔が狭くなるという証拠ではありません。レイアウトと切断レシピは個別に評価する必要があります。基板下の損傷または研磨の削減に関する未確認の主張は、試験結果の代わりに使用されません。.
ブランク用の超薄ウェーハ切断機の選択
長尺シングルステーションローディング
記載のエンベロープは 660 × 160 × 150 mm です。ブランク長と断面を一緒に確認し、治具、接着されたサポート、およびローディングクリアランスを考慮してください。一致するブランク長だけでは、取り付けられたアセンブリが適合することを示すものではありません。.
高速ワイヤ機能
記載の最大往復ワイヤ速度は 2,200 m/min です。これを装置の制限として扱ってください。実際の材料と目標表面状態に合わせて、フィード、張力、クーラント、および使用可能な動作速度を選択する必要があります。.
高速マルチワイヤソーは、最大ワイヤ速度だけでなく、検査後の許容スライスで比較する必要があります。生産ルートを評価する際には、準備、ローディング、分離、検査、および切り替えを含めてください。薄型ウェーハマルチワイヤソーの選択には、分離されたスライスの実用的な取り扱い計画も必要です。.
ウェハーの製造方法（Wikipedia）
| パラメータ | SOMI2-600S |
|---|---|
| 最大ブランクサイズ | 660 × 160 × 150 mm |
| 記載のスライス厚 | 3–3 mm |
| グルーブ付きローラーの直径 | 160–180 mm |
| 最大往復ワイヤ速度 | 2,200 m/分 |
| 機械全体の寸法 | 2,450 × 2,000 × 2,000 mm |
| 切断構成 | 二軸、シングルステーション倒立切断 |
記載の機械範囲は、材料固有の厚さ公差、表面粗さ、または歩留まりを保証するものではありません。ワイヤ径、張力、フィード範囲、機械の電力と重量を確認する必要があります。他の SOM 機械の値は代用されません。.
取り付け寸法は機械を表しており、ローディング、アクセス、およびサービスに必要なスペース全体を表すものではありません。サイトを準備する前に、最終的な取り付け図を確認してください。記載の最小スライス厚も、材料除去後の仕上げ基板の厚さと区別する必要があります。.
トライアルの前にどのような材料情報が必要ですか？
シリコンプロジェクトについては、ブランク容量、仕上げ許容量、および受け入れチェックを比較してください。 シリコンインゴットスライスアプリケーションガイド. 。ワークピースのセットアップとトライアルの要件を確認してください。.
このモデルは、ウェーハおよび薄型スライス準備のために配置されています。材料の適合性は、実際のグレード、結晶構造、形状、および必要な結果に対して確認する必要があります。半導体材料の一般的なリストは、1 つのレシピまたは厚さ公差がすべてに適用されることを示すものではありません。.
| 入力 | 提供するもの | なぜ重要なのか |
|---|---|---|
| 素材 | 該当する場合は、グレード、組成、および結晶配向 | 広範なファミリー名に依存するのではなく、トライアル材料を定義します |
| 入荷ブランク | 寸法、形状、参照面、および取り付け方法 | 使用可能なエンベロープとサポート構成を確認します |
| 必要なスライス | カット時の厚さ、仕上げしろ、検査基準 | スライス要件と最終基板の受け入れを分離します |
ここでは、材料固有の最小厚さや保証された切断収率は主張されていません。図面と一緒に材料情報をお送りください。チームが、関連性のない機械の結果を転送するのではなく、代表的なトライアルをレビューできるようにします。.
主要なアセンブリとその機能
ローラーとワイヤーウェブに溝加工
2軸配置は、平行な切断スパンをサポートします。溝の形状とワイヤーの選択は、意図したスライス設定と一致する必要があります。文書化されたローラーの直径範囲は160〜180 mmです。このモデルには、検証されていないワイヤー直径は割り当てられていません。.
シングルワークステーション
ワークステーションは、1つの取り付けられた切断アセンブリをサポートします。完全なブランクエンベロープをどのように使用するかを決定する前に、治具、基準面、およびアクセスを確認してください。シングルステーションレイアウトをデュアルプレートマシンとして説明しないでください。.
逆送り配置
加工物はウェブに上向きに供給されます。実際の加工物と工具を使用して、ロード、サポート、およびスライス処理を一緒に検討する必要があります。簡略化された図は、自動品質改善を証明するのではなく、方向を説明します。.
ワイヤーの往復運動
ワイヤーの移動が切断動作を供給し、加工物の送りによってエンゲージメントが制御されます。最大移動速度と実際の生産送りは、個別のパラメータです。プロセスレビューとサンプルカットを通じて運用設定を確認してください。.
SOMI2-600SまたはSOMI-430：どちらがあなたの加工物に適合しますか？
どちらも2軸逆切断を使用し、0.3〜3 mmのスライス範囲をリストしています。主な文書化された違いは、ブランクの長さと最大ワイヤー速度です。まず必要なエンベロープを選択し、次に余分な速度能力がテストされたプロセスに関連するかどうかを評価してください。.
| 選択要因 | SOMI2-600S | SOMI-430 |
|---|---|---|
| 最大ブランクサイズ | 660 × 160 × 150 mm | 430 × 160 × 150 mm |
| 記載のスライス厚 | 3–3 mm | 3–3 mm |
| 最大ワイヤー速度 | 2,200 m/分 | 1,200 m/分 |
| いつ評価するか | より長いブランクまたはより高いワイヤー速度能力 | より短いエンベロープ内のブランク |
参照してください SOMI-430製品詳細 完全な仕様については。実験室規模のバッチについては、参照してください SOM200. 。他の切断アセンブリについては、 マルチワイヤーソー選定ガイド を使用してください。このモデルがすべてのスライスまたは加工物のサイズをカバーすると仮定しないでください。.
インストール、トライアル計画、およびサポート
電気供給、冷却、圧縮空気、基礎、リフトアクセス、および環境要件は、ご注文時に確認されます。お問い合わせください。コンパクトな機械寸法は、クリーンルームの適合性を確立したり、必要な周囲のサービスエリアを指定したりするものではありません。.
トライアルの前に、厚さ測定方法、エッジ状態、表面検査、および許容可能な出力について合意してください。結果が文脈で解釈できるように、使用された材料、取り付け、および運用条件を記録してください。無料のサンプルカットが利用可能です。サンプルロジスティクスと正確な範囲は、チームと合意する必要があります。.
CE認証済み・12ヶ月保証・12時間以内の応答。これらのサポート条件は、注文固有の技術契約に代わるものではなく、保証された切断結果を作成するものではありません。.
機械選定前の質問
3 mmは仕上げウェーハの厚さですか？
いいえ。それはリストされたスライス範囲の下限です。必要なカット時の厚さは、下流の仕上げと合意された受け入れ基準を考慮する必要があります。.
2,200 m/minは最大生産率を意味しますか？
いいえ。それは最大ワイヤー移動速度です。送り、ブランク寸法、材料、取り扱い、および検査はすべて、受け入れられた生産出力に影響します。.
異なる材料に同じ設定を使用できますか？
それは仮定されるべきではありません。材料グレード、加工物サポート、ワイヤー設定、および目標結果は、実際のカットに対してレビューする必要があります。.
ブランク寸法と目標スライス要件を送信してください
材料グレード、図面、および検査制限を共有してください。チームが実際の切断タスクに対してSOMI2-600Sをレビューできるようにします。.
無料サンプルカットのご依頼CE認証 · 12ヶ月保証 · 12時間対応 · 無料サンプルカット
- 材料グレードと向き
- ブランクと治具の寸法
- カット時の厚さと仕上げの許容範囲
- バッチサイズと受け入れ基準