Harte und spröde Halbleitermaterialien: Fortschrittliches Schneiden und Handhaben von Halbleitersubstratmaterialien
Halbleitersubstratmaterialien wie Siliziumkarbid (SiC), Saphir und Galliumarsenid sind grundlegend für fortschrittliche Elektronik, Optoelektronik und Leistungselektronik. Diese Materialien sind hart, spröde und empfindlich gegenüber mechanischer Belastung, was Handhabung, Schneiden und Verarbeitung zu einer erheblichen technischen Herausforderung macht. Ihre physikalischen Eigenschaften – hohe Härte, geringe Bruchzähigkeit und geringe plastische Verformung – bedeuten, dass selbst kleine mechanische […]