Vollständiger Ausrüstungskatalog für die Halbleiterwafer-Herstellung

VOLLSTÄNDIGES AUSRÜSTUNGS-PORTFOLIO

Kristallzüchtung · Schneiden · Läppen · Polieren — Vier Prozessstufen, Ein Lieferant

Vimfun stellt die komplette Ausrüstung für die Halbleiterwafer-Herstellung her – vom Einkristall-Ingot-Wachstum bis zu spiegelpolierten Wafern. Unser Katalog umfasst Kristallzüchtungsöfen (CCz / Kyropoulos-Verfahren), Mehrdrahtsägen für die Hochdurchsatz-Wafer-Trennung, doppelseitige Läpp- und Poliermaschinen für Submikrometer-Ebenheit und eine komplette Verbrauchsmaterialversorgung (Diamantdrahtschleifen).
12-Zoll MCZ-Kristallziehanlage

12-Zoll-Si-Kristallziehanlage

  • Technologie: Kontinuierliches CZ (CCz) / H-MCZ
  • Max. Durchmesser: 300 mm / 12 Zoll
  • Kammer-ID: Φ1400 mm
  • Durchmesserregelung: ±0,05 mm
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Kyropoulos-Saphir-Kristallwachstumsofen

Saphir-Kristallwachsofen

  • Methode: Kontinuierliches Czochralski (CCz) / H-MCZ
  • Max. Kapazität: 1000kg (Anpassbar)
  • Max. Durchmesser: 300 mm / 12 Zoll
  • Gleichmäßigkeit: < 6,0% Widerstand (RRG)
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Kontinuierlicher Czochralski-Kristallzieher

Silizium-Kristallziehanlage

  • Methode: Kontinuierliches Czochralski (CCz) / H-MCZ
  • Max. Kapazität: 1000kg (Anpassbar)
  • Max. Durchmesser: 300 mm / 12 Zoll
  • Gleichmäßigkeit: < 6,0% Widerstand (RRG)
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