ワイヤーソーイング後の総厚みばらつき（TTV）、反り、たわみ

結果を比較する前に総厚み変動を定義する

局所的な厚みとは、測定方法によれば、ある場所における前面と背面の表面間の分離です。TTVは選択された領域全体の範囲です。それはウェーハの平均厚みとその公称目標値との差ではなく、機械的な位置決め軸の公差でもありません。.

ウェーハ厚み測定に関するNISTの研究 赤外線干渉法を使用して厚み変動を調べます。その測定の文脈は、測定方法が重要である理由を例示しています。それは、すべての切断済み材料またはソーに普遍的なTTV制限を割り当てるものではありません。.

均一なウェーハでも薄すぎることはありますか？

局所的な厚みが0.98〜1.03 mmの範囲である仮想的なブランクを想像してください。その範囲は、サンプリングされた場所全体で0.05 mmです。この例は計算を説明するものであり、Vimfunマシンの仕様またはパフォーマンス結果ではありません。.

その範囲は、公称目標値が1.00 mmまたは1.10 mmであったかどうかを教えてくれません。ブランクは均一に薄すぎる場合もあれば、正しい平均厚みを持つが過度の変動がある場合もあります。したがって、目標厚みと総厚み変動の両方が、それらが下流で重要である場合には、受け入れシートに記載されるべきです。.

厚み公差が平均、中心点、またはすべての評価された場所に適用されるかどうかを指定してください。その区別がないと、サプライヤーと顧客は同じデータから異なる合格/不合格の結論を報告する可能性があります。.

反りや歪みが異なる測定値である理由

ウェーハの反りは形状を表しますが、厚み変動は前面と背面の表面間の分離を表します。湾曲したウェーハでも、厚みはほぼ均一に保たれます。逆に、比較的平坦なブランクでもくさび形になっている場合があります。TTVシリコンウェーハ検査では、厚みマップを形状結果から分離し、3つの測定すべてを1つの平面度値として扱うのではなく、レポートにTTV（総厚み変動）と記載してください。.

反りや歪みは、ウェーハの中央表面が指定された参照ジオメトリから逸脱することに関係しており、詳細は測定規則によって管理されます。それらは単に厚み範囲の別の名前ではありません。湾曲したウェーハでも厚みは比較的均一である場合がありますが、くさび形のブランクは同じ湾曲なしに厚みが異なる場合があります。.

総厚み変動を反りや歪みと比較するには、検査システムで使用されている定義を要求してください。サポート条件と参照面を特定してください。ウェーハを拘束する治具は形状測定に影響を与える可能性があり、レポートから省略してはなりません。.

テーブルの上に置かれたウェーハの写真から反りや歪みの値を推測しないでください。写真は目に見える状態を文書化できますが、定量的な主張に必要な制御された参照と測定データが欠けています。.

サンプルのプロセス条件を指定する

切断済みブランク、ラップされたウェーハ、および研磨された基板は、検査状態が異なります。仕上げは厚みと形状を変更する可能性があるため、結果はプロセス段階のラベルを保持する必要があります。公開されている研磨済みウェーハ仕様を、切断済みブランクに自動的に適用することはできません。.

レビューする際 シリコンインゴットスライシング, 、どの状態が受け入れられているかを指定してください。ソーの目的が仕上げ用ブランクを供給することである場合、総厚み変動は利用可能な仕上げ許容量とともに評価されるべきです。.

表面処理履歴をデータとともに保持してください。追加されたフィルムや後続の熱処理は、ジオメトリ測定の解釈を変更する可能性があります。受け入れ側の運用担当者は、検査前にウェーハに何が起こったかを知る必要があります。.

サンプリングパターンの設計

トライアルの前に厚みを評価する場所を選択してください。エッジ除外、場所の数、およびそれらの分布は、くさび形または局所的な変動を検出する能力に影響します。少数のポイントは限定的なスクリーニングタスクには十分かもしれませんが、完全な表面マップとして提示されるべきではありません。.

総厚み変動の比較には、両方の実行で同じ領域とサンプリング方法が必要です。一方の実行でポイント数を増やすと、もう一方の実行の疎なパターンが見逃す極値が明らかになる可能性があります。実際のポイントの場所を記録するか、利用可能な場合はマップを保持してください。.

また、機器の能力と校正ステータスも特定してください。受け入れウィンドウが測定の不確かさに近い場合、結果は、スプレッドシートに追加の小数点以下の桁数を追加するのではなく、合意された決定規則を必要とします。.

最小値と最大値だけでなく、各厚みサンプルの場所を保持してください。追加の測定ポイントが薄い箇所を見つけた場合、ウェーハは変更されていなくても、報告される範囲は増加します。そのため、疎な中心とエッジのチェックと完全なマップは、それらのカバレッジを特定せずに比較されるべきではありません。.

総厚み変動の場合、例示的な0.98〜1.03 mmの範囲は、それらのサンプリングされた場所全体で0.05 mm、つまり50 µmになります。測定されていない領域については何も述べていません。この例は算術的なものであり、測定されたソーの結果ではありません。.

総厚さばらつきについて、例として示された 0.98～1.03 mm の範囲は、サンプリングされた場所全体で 0.05 mm、つまり 50 µm を示します。これは、測定されていない領域については何も語っていません。この例は算術的なものであり、測定されたソーイングの結果ではありません。.

各総厚さばらつき数値の横に、評価領域、サポート条件、およびサンプル状態の 3 つのフィールドを記載します。「カット直後、定義されたエッジ除外、指定されたサポート」は、「高精度」よりも有用です。落とし穴は、未補正のブランクを特徴づけるかのように、研磨されたウェーハの結果を報告することです。.

マップが重要です。

サポートが変更されるとどうなりますか？.

非接触および接触方法は、異なるサポート配置を伴う場合があります。治具は、サンプルの厚さと状態と互換性がなければなりません。ウェーハがフリーか、指定された場所でサポートされているか、または方法に従ってチャックで保持されているかを文書化してください。.

サポート情報のない総厚さばらつきデータは、特に薄いまたは湾曲した標本の場合、比較が困難な場合があります。異なる保持配置で読み取りを繰り返すと、元のカットとは無関係な理由で結果が変わる可能性があります。.

読み取りを安定させるためだけに過度の取り扱い力を加えることは避けてください。装置およびサイトの手順に従ってください。カット直後の表面が選択した方法に適さない場合は、別の方法に同意するか、不確かな読み取りを単に受け入れられたデータとして扱うのではなく、制限を説明してください。

スライスシーケンス全体の傾向を調査する.

スライス順序を保持し、位置ごとにマップまたは測定値を比較します。バッチ全体の傾向は、セットアップまたはプロセスの変更を示す可能性がありますが、パターンだけでは原因を特定できません。取り付け、ガイドの状態、切断動作、解放、および測定の一貫性を調査してください。 マルチワイヤーソー 装置のコンテキストについては、 逆マルチワイヤーソー 概要と.

設定は、セットアップのさまざまな側面を説明しています。どちらのリンクも、顧客の材料の総厚さばらつきの結果を確立するものではありません。.

中断された実行とオペレーターの調整を記録してください。そうしないと、一緒に測定されたサンプルが実際には異なる切断条件を表している可能性があり、バッチ平均が誤解を招く可能性があります。

結果を仕上げに結び付ける.

受け入れ側の操作では、最終的な形状に到達するために十分な在庫が必要であり、小さすぎる部品を作成しないようにする必要があります。厚さマップは、ブランクが関連領域全体でその許容範囲を提供するかどうかを理解するのに役立ちます。平均厚さだけでは、局所的に薄い領域を隠す可能性があります。.

総厚さばらつきを、エッジの欠陥、表面の状態、および必要な損傷評価と合わせて評価してください。仕上げ在庫が不十分なまま TTV を削減しても、下流の問題は解決しません。.

仕上げトライアルが実行された場合は、前後測定値を同じサンプルにリンクしたままにしてください。これにより、仕上げステップが何を変更したかがわかり、補正後にのみ測定された結果をソーイングに帰属させることを回避できます。

測定マップを結果と一緒に保持する.

最大および最小の数値だけでなく、測定された位置を保持してください。マップのない結果では、同じ表面部分が別の実行で評価されたかどうかを示すことができません。ポイント識別子と除外を記録して、2 番目のエンジニアが検査境界を再現できるようにします。.

総厚さばらつきについては、公称厚さを別のフィールドに保持してください。測定された範囲が小さいことは、ブランク全体が必要な厚さウィンドウ内にあることを証明するものではありません。受信側は、ターゲットの関係とばらつき情報の両方を必要とします。それらを単一のラベルの下に組み合わせると、レポートの解釈が難しくなります。.

装置および方法の文書から、分解能と関連する測定上の制限を記述してください。ディスプレイに表示される桁数が多いからといって、セットアップがサポートする以上の信頼度を報告しないでください。有用な質問は、検査が許容に必要な違いを区別できるかどうかです。.

バッチ全体での総厚さ変動の傾向は、スライス順序に関連付けられたままであるべきです。見かけ上の傾向が観察された場合は、切断プロセスを変更する前に、検査チェックを繰り返してください。識別子の誤り、除外領域の変更、またはサポートの変更は、個々の読み取り値が注意深く取得された場合でも、誤解を招く比較を生み出す可能性があります。.

欠落している測定値を明示的にマークしてください。測定されていない場所は、報告方法がそのような処理を具体的に定義しない限り、ゼロまたは補間された結果ではありません。生の観測値を派生表示から分離しておくと、受信チームは実際の証拠を確認できます。.

受入限度を設定する前に、それがどの測定状態に適用されるかを尋ねてください。カット直後のスクリーニング限度と完成基板の仕様は、異なる決定に役立つ場合があります。レポートは、すべての厚さマップを最終的なウェーハ証明書として扱うのではなく、その状態と承認された基準を名前で示す必要があります。.

質問に答えるページを選択してください

この記事は次の質問に答えます：報告された2つの厚さ範囲は、同じ測定定義に基づいていますか？それは以下の装置またはアプリケーションの範囲を置き換えるものではありません。.

よくあるご質問

1回の読み取りで総厚さ変動を確立できますか？

いいえ。総厚さ変動は、評価された領域全体の範囲を表します。単一の読み取り値はその場所の厚さを示すことができますが、範囲を確立することはできません。合意されたサンプリングまたはマッピング方法を使用し、その領域定義を報告してください。.

低い総厚さ変動は、ブランクが十分に厚いことを証明しますか？

いいえ。公称厚さと局所的な厚さウィンドウも確認してください。均一に小さすぎるブランクは、仕上げには不向きな場合があります。変動結果と必要な厚さターゲットは、別々の受入質問に答えます。.

総厚さ変動の結果は、異なるサポートを使用できますか？

使用中の方法の下で比較が有効であり続けることを確立した後のみ。変更されたサポートと検査状態を記録してください。それらの条件がない総厚さ変動値は、単位が一致する場合でも、同等の測定値を記述していない可能性があります。.

実際に確立されたものを報告する

有用な検査レポートは、材料、サンプルID、プロセス条件、測定方法、サポート、評価領域、およびサンプリングパターンを名前で示します。厚さの結果と適用可能な不確かさまたは決定規則を含めてください。公称厚さ受入、TTV受入、および形状受入を分離しておいてください。.

総厚さ変動は、明確な要件に関連付けられた再現可能な測定値を記述するときに有用になります。新しいプロセスの場合、切断前にその要件に合意し、受信チームの評価のために代表的なブランクを返してください。目標は、1つの選択されたサンプルに付けられた品質形容詞ではなく、使用可能なジオメトリに関する比較可能な証拠です。.

切断前に、厚さターゲット、マッピングパターン、エッジ除外、およびサポートに合意してください。範囲だけでなく、スライスIDとプロセス状態とともにマップを返してください。総厚さ変動が過剰な場合は、ソーを調整する前に、注文されたマップとセットアップ履歴を比較してください。まず、変更された測定または保持条件を除外してください。.