In der Waferfertigung verwendete Geräte
Die Halbleiterindustrie ist auf hochspezialisierte Fertigungssysteme angewiesen, um Wafer für integrierte Schaltkreise, Leistungselektronik und optoelektronische Geräte herzustellen. Jede Produktionsstufe erfordert sorgfältig konstruierte Maschinen, die in der Lage sind,