균열 없이 게르마늄 웨이퍼 절단 방법
게르마늄 웨이퍼는 적외선 검출기, 열화상 센서 및 광학 부품의 필수 기판입니다. 그러나 Ge는 부서지기 쉬운 반도체 결정으로 절단 시 가장자리 칩핑 및 표면 손상이 발생하기 쉽습니다. 기존의 블레이드 기반 방법은 종종 높은 재료 손실과 낮은 가장자리 품질을 초래합니다. 이 기사에서는 다이아몬드 와이어 톱 기술을 사용하여 정밀하게 슬라이스하는 방법을 설명합니다.
게르마늄 웨이퍼는 적외선 검출기, 열화상 센서 및 광학 부품의 필수 기판입니다. 그러나 Ge는 부서지기 쉬운 반도체 결정으로 절단 시 가장자리 칩핑 및 표면 손상이 발생하기 쉽습니다. 기존의 블레이드 기반 방법은 종종 높은 재료 손실과 낮은 가장자리 품질을 초래합니다. 이 기사에서는 다이아몬드 와이어 톱 기술을 사용하여 정밀하게 슬라이스하는 방법을 설명합니다.