반도체 웨이퍼 제조를 위한 완벽한 장비 카탈로그
전체 장비 포트폴리오
결정 성장 · 절단 · 연마 · 폴리싱 — 네 가지 공정 단계, 한 공급업체
Vimfun은 단결정 잉곳 성장부터 거울처럼 매끄러운 연마 웨이퍼까지 반도체 웨이퍼 제조를 위한 전체 장비 체인을 제조합니다. 당사의 카탈로그에는 결정 성장로(CCz / Kyropoulos 방식), 고처리량 웨이퍼 슬라이싱을 위한 다중 와이어 다이아몬드 톱, 마이크로미터 이하의 평탄도를 위한 양면 연마 및 폴리싱 기계, 그리고 완전한 소모품 공급(다이아몬드 와이어 루프)이 포함됩니다.
- 방법: 연속 초크랄스키 (CCz) / H-MCZ
- 최대 용량: 1000kg (맞춤 가능)
- 최대 직경: 300 mm / 12 인치
- 균일성: < 6.0% 비저항 (RRG)